课题基金 / 基金详情

基于UAFM的纳米尺度无损检测技术及在电子封装中的应用研究

批准号：
50775005
项目类别：
面上项目
资助金额：
40.0 万元
负责人：
何存富
依托单位：
北京工业大学
学科分类：
机械测试理论与技术
结题年份：
2010
批准年份：
2007
项目状态：
已结题
项目参与者：
宋国荣、张丽萍、郑钢丰、袁红梅、颜丙生、张易农
关键词：
纳米尺度超声原子力显微镜电子封装金属间化合物无损检测

项目摘要

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项目成果

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中文摘要
微电子封装中焊锡接点的力学行为对于微器件和微装置的可靠性起着决定性作用。而无铅焊锡接点内金属间化合物（IMC）的形成和长大，会大大降低界面的力学完整性，使得界面弱化并引起焊点在IMC与焊料的边界上萌生缺陷并最终破坏。本项目提出基于超声原子力显微镜（UAFM）的纳米级无损检测新技术；基于静态原子力显微镜的动态调制模式，构建实验系统；研究探针与被测试件表面的接触模型，考虑法向和侧向接触刚度与阻尼系数，建立接触刚度与探针悬臂梁谐振频率之间的关系，进而由测得的谐振频率确定接触刚度，并求得材料的弹性常数以及表征微缺陷的存在与否；研究探针针尖的材料、大小、磨损程度以及静态载荷对测试精度和重复性的影响；建立焊点内界面缺陷（空洞或脱层）对接触刚度的影响模型，数值计算缺陷对接触刚度的影响，研究UAFM对缺陷的检测灵敏度以及在最大灵敏度时的最佳缺陷深度。并将该技术应用在IMC层弹性常数测定和微缺陷检测中。
英文摘要
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原子力显微镜悬臂梁在超声波激励下的动力学仿真
DOI： --
发表时间： --
期刊： 北京工业大学学报
影响因子： --
作者： [何存富, 吴再奇, 张改梅, 吴斌]
通讯作者： 吴斌
Quantitative measurement of local elasticity of SiOx film by atomic force acoustic microscopy
原子力声学显微镜定量测量SiOx薄膜的局部弹性
DOI： 10.1088/1674-1056/19/8/084302
发表时间： 2010-08
期刊： Chinese Physics B
影响因子： 1.7
作者： [Wu Bin, Zhang Gaimei, He Cunfu, Wu Zaiqi]
通讯作者： Wu Zaiqi
软包装热封缺陷的超声无损检测
DOI： --
发表时间： --
期刊： 仪器仪表学报
影响因子： --
作者： [何存富, 袁红梅, 吴斌]
通讯作者： 吴斌
基于BEEI方法的软包装热封缺陷超声检测研究
DOI： --
发表时间： --
期刊： 应用基础与工程科学学报
影响因子： --
作者： [何存富, 袁红梅, 吴斌]
通讯作者： 吴斌
共 7 条
    大厚度构件沿厚度方向残余应力梯度超声表面波偏振层析检测方法
    • 批准号：
      52235012
    • 项目类别：
      重点项目
    • 资助金额：
      269万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      何存富
    • 依托单位：
      北京工业大学
    兆瓦级风机主轴轴承接触载荷声弹性监测技术
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      --
    • 资助金额：
      55万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      何存富
    • 依托单位：
      北京工业大学
    在役风电机组主轴裂纹衍射声波原位检测技术研究
    • 批准号：
      51875010
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      60.0万元
    • 批准年份：
      2018
    • 负责人：
      何存富
    • 依托单位：
      北京工业大学
    光伏晶硅Lamb波非接触缺陷检测传感器及成像系统研制
    • 批准号：
      11372016
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      128.0万元
    • 批准年份：
      2013
    • 负责人：
      何存富
    • 依托单位：
      北京工业大学
    国内基金
    海外基金