Study of the Reaction of Acid Generators with Epithermal and Thermalized Electrons
Study of the Reaction of Acid Generators with Epithermal and Thermalized Electrons
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产酸剂与超热电子和热化电子反应的研究
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T. Shimokawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Natsuda;T. Kozawa;A. Saeki;S. Tagawa;T. Kai;T. Shimokawa
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化学放大极紫外光刻胶模型系统中的产酸效率
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
J. Vac. Sci. Technol. B
影响因子：
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作者：
T. Kozawa;S. Tagawa;H. Oizumi;I. Nishiyama
通讯作者：
I. Nishiyama
影响因子：
3.5
作者：
A. Saeki;T. Kozawa;S. Tagawa;H. B. Cao
通讯作者：
H. B. Cao
暴露于极紫外辐射时产酸效率对产酸剂分子结构的依赖性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
Appl. Phys. Express
影响因子：
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作者：
R. Hirose;T. Kozawa;S. Tagawa;T. Kai;T. Shimokawa
通讯作者：
T. Shimokawa
用于极紫外光刻的化学放大抗蚀剂中吸收系数和产酸效率对产酸剂浓度的依赖性
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys.
影响因子：
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作者：
R. Hirose;T. Kozawa;S. Tagawa;T. Kai;T. Shimokawa
通讯作者：
T. Shimokawa
皮秒脉冲辐射分解。
DOI：
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发表时间：
1971
期刊：
影响因子：
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作者：
J. Aldrich;M. Bronskill;R. Wolff;J. Hunt
通讯作者：
J. Hunt