Direct Fabrication of Uniform and High Density Sub-10-nm Etching Mask Using Ferritin Molecules on Si and GaAs Surface for Actual Quantum-Dot Superlattice

Direct Fabrication of Uniform and High Density Sub-10-nm Etching Mask Using Ferritin Molecules on Si and GaAs Surface for Actual Quantum-Dot Superlattice
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使用 Si 和 GaAs 表面上的铁蛋白分子直接制造均匀、高密度的亚 10 nm 蚀刻掩模,用于实际的量子点超晶格

DOI:
--
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发表时间:
2011
影响因子:
2.3
通讯作者:
and S. Samukawa
and S. Samukawa
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
M. Igarashi;R. Tsukamoto;C.-H. Huang;I. Yamashita;and S. Samukawa

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