Optical coatings by means of atomic layer deposition. Coating of subwavelength structured surfaces and adsorption of liquid crystals onto thin coatings.

在研究韦尔登和金属光学器件的基础上，采用了热释电和等离子体增强原子层沉积（ALD和PEALD）技术。原位椭偏法和拉曼光谱韦尔登法用于ALD过程的精细分析和验证。这种方法也适用于在基质上培养种子层。Nanostrukturierte（亚波长结构）Substrate mit einer Periode wesentlich kleiner als die Wellenlänge des Lichtes韦尔登mittels ALD beschichtet，um durch die Beschichtung verstärkte optische Eigenschaften（Form- Doppelbrechung，Resonanz- und Band-Lücken Effekte，künstliche Brechungsindices）zuerzielen.随着ALD-Beschichtung的不断创新和效率的提高，Mikro- Optiken开始韦尔登。聚合物基材的功能化是可以实现的，因为这种结构和韦尔登可以实现。Eine weitere Richtung des Projektes befastst sich mit der Analyse der Adsorption von Flüssigkristallen an dünnen Schichten，mit der ALD-Beschichtung von Flüssigkristal-Nano-Aggregaten，und mit der Abstimmung der entsprechenden optischen Eigenschaften.

Im Rahmen des geplanten Forschungsprojektes werden dielektrische und metallische optische Beschichtungen mittels thermischer und plasma enhanced atomic layer deposition (ALD und PEALD) hergestellt. In situ-Ellipsometrie und Raman-Spektroskopie werden für eine gründliche Analyse und Verständnis des ALD-Prozesses durchgeführt. Diese Methoden liefern auch Auskunft über die Bildung erster Monolagen (seed layers) auf dem Substrat. Nanostrukturierte (sub wavelength structured) Substrate mit einer Periode wesentlich kleiner als die Wellenlänge des Lichtes werden mittels ALD beschichtet, um durch die Beschichtung verstärkte optische Eigenschaften (Form- Doppelbrechung, Resonanz- und Band-Lücken Effekte, künstliche Brechungsindices), zu erzielen. Durch die ALD-Beschichtung können innovative und effizientere Mikro- Optiken entwickelt werden. Eine Funktionalisierung von Polymersubstraten wird vorangetrieben, weil diese einfach strukturiert und leicht dotiert werden können. Eine weitere Richtung des Projektes befasst sich mit der Analyse der Adsorption von Flüssigkristallen an dünnen Schichten, mit der ALD-Beschichtung von Flüssigkristall- Nano-Aggregaten, und mit der Abstimmung der entsprechenden optischen Eigenschaften.