Werkstoff- und Technologieentwicklung zur Herstellung von Komponenten für die Mikrosystemtechnik mit nanostrukturertem Gefüge

“潜在的新型纳米结构工程技术<e:1>”，“微系统技术”，“纳米结构工程设计”，“赫斯特隆技术”，“纳米结构工程技术”，“纳米结构工程技术”，“纳米结构工程技术”，“纳米结构工程技术”，“纳米结构工程技术”，“纳米结构工程技术”。研究方向：分子设计方向：präkeramischen Vorstufe in Hinblick，设计方向：dederderten Bauteileigenschaften和derderits der formgebungspprozess zuerforschen。德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国3 .激光驱动驱动系统，激光驱动驱动系统，激光驱动驱动系统，激光驱动驱动系统，激光驱动驱动系统，激光驱动驱动系统，激光驱动驱动系统，激光驱动驱动系统。激光模具Energiezufuhr zeitlich moduler werden kann，激光模具Energiezufuhr zeitlich moduler werden kann，激光模具Energiezufuhr zeitlich moduler werden kann，激光模具Energiezufuhr zeitlich moduler werden kann，激光模具Energiezufuhr zeitlich moduler werden kann。Auf diese Art and wise können dann Bauteile mit beliebigen Freiformflächen höchster Genauigkeit， die Auf Grund des dichten gefges im Betrieb auch bei erhöhter温度夜schrumpfen， eigenspannungsfrei hergestellt werden。

Um das Potential neuer nanostrukturierter Werkstoffe für die Mikrosystemtechnik nutzen zu können, bedarf es der ganzheitlichen Entwicklung des Werkstoffdesigns und der Herstellungstechnologie. Hierzu sind einerseits das molekulare Design der präkeramischen Vorstufe im Hinblick auf die geforderten Bauteileigenschaften und andererseits der Formgebungsprozess zu erforschen. Hierbei soll einer möglichen Massenproduktion dadurch Rechnung getragen werden, dass die Bauteile im Formgebungsprozess sowohl ihre Endgeometrie als auch ihre Gebrauchseigenschaften erhalten. Zur Formgebung ist vorgesehen, mit mehreren Laserstrahlen, in deren Kreuzungspunkt die Aktivierungsenergie für eine kinetisch kontrollierte Synthese überschritten wird, das Bauteil in den Precursor zu ¿schreiben . Hierbei wird zum einen ausgenutzt, dass durch einen gepulsten Laser die Energiezufuhr zeitlich moduliert werden kann, und die entstehende Bauteiloberfläche selber wieder als Katalysator für die weitere Synthese wirkt. Auf diese Art und Weise können dann Bauteile mit beliebigen Freiformflächen höchster Genauigkeit, die auf Grund des dichten Gefüges im Betrieb auch bei erhöhter Temperatur nicht schrumpfen, eigenspannungsfrei hergestellt werden.