Chemische und physikalische Charakterisierung von Nanoschichtsystemen

在纳米碳氮化硅中的化学结合，在新西伯利亚的组织化学研究所，在材料和材料中分散的Feststoffe和TU Darmstadt(Institut für Werkstoffkunde TU Darmstadt)HERGERGELT WERDEN，Sollen MIT Hilfe von NEXAFS，XPS and TEM-Eels unterucht and bstimden。我们将在柏林举办一场名为“NEXAFS-Messungen am BESSY II”的展览，并在德国达姆施塔特举行一次会议，通过XPS-AND TEM-EELS-Untersuhungen im FB Material-and Geowisenschaften der TU Darmstadt erfolgen。达姆施塔特是德国最大的化学组织机构，也是ALS的标准材料。NEXAFS-SPEKREN DUCHGEN DUCHGEFüHRT的Zur Absicherung der Ergebnisse Sollen Modellierungen der NEXAFS-Spektren duchgefüHRT。他说：“这是一件非常重要的事情，我们的工作很重要。在Kombination MIT NEXAFS weitergeführt中，Des weiteren wird die Methodenentwickung zur zerstörungsfreien Speziation von Tiefer ALS 5 nm Vergrabenen Nanoschichten Durch GIXRF。从纳米马鞭草中提取钛(氧化物、氮化物)。这是一种新的技术和技术，并不适用于任何一种技术。在GIXRF-NEXAFS Sollen erforderliche Optische Konstanten Durch Röntgenreflektometrie Sowie TransmissionsSun tersusuhugen an geeigneten freitragenden Folien bstimt的基础上，我们的工作是量化的。根据Vergrabene Nanoschichgung der für vergrabene Nanoschichten im Spektralbereich Weicher Röntgen Röntgenstrah相关的吸收，Vergrabenen Nanoschichten Nanoschichten的Modellierungen de NEXAFS-Strukturen der verschiedenen vergrabenen Nanoschichten angestret.在GIXRF-NEXAFS-Quantifizierungsansätze的验证下，分散的Gitterspecktroeter(WDS)和Aufnahme Hochauflösender Rönt基因发射光谱是很好的。

Die chemischen Bindungen in Nanoschichten von Bor- und Siliziumcarbonitriden, die im Institut für Anorganische Chemie in Nowosibirsk, im Fachgebiet Disperse Feststoffe der TU Darmstadt und in der Materialprüfungsanstalt (Institut für Werkstoffkunde der TU Darmstadt) hergestellt werden, sollen mit Hilfe von NEXAFS, XPS und TEM-EELS untersucht und bestimmt werden. Während die NEXAFS-Messungen am BESSY II in Berlin durchgeführt werden, können die XPS- und TEM-EELS-Untersuchungen im FB Material- und Geowissenschaften der TU Darmstadt erfolgen. Dazu werden kommerziell erhältliche und im FG für Anorganische Chemie der TU Darmstadt synthetisierte Standardmaterialien als Vergleich herangezogen. Zur Absicherung der Ergebnisse sollen Modellierungen der NEXAFS-Spektren durchgeführt werden. Zur physikalischen Charakterisierung der Proben sollen deren Härte, chemische Stabilität, optische und elektrische Eigenschaften bestimmt werden. Des Weiteren wird die Methodenentwicklung zur zerstörungsfreien Speziation von tiefer als 5 nm vergrabenen Nanoschichten durch GIXRF in Kombination mit NEXAFS weitergeführt. Hierbei sollen die Bindungszustände verschiedener Titanverbindungen (Oxide, Nitride) in den vergrabenen Nanoschichten untersucht werden. Darin ist die Erzeugung von unter- bzw. überstöchiometrischen Bindungszuständen durch Implantationen mit eingeschlossen. Zur Entwicklung einer zuverlässigeren Quantifizierung der GIXRF-NEXAFS sollen erforderliche optische Konstanten durch Röntgenreflektometrie sowie Transmissionsuntersuchungen an geeigneten freitragenden Folien bestimmt werden. Unter Berücksichtigung der für vergrabene Nanoschichten im Spektralbereich weicher Röntgenstrahlung relevanten Absorptionseffekte werden Modellierungen der NEXAFS-Strukturen der verschiedenen vergrabenen Nanoschichten angestrebt. Der Einsatz eines wellenlängendispersiven Gitterspektrometers (WDS) zur Aufnahme hochauflösender Röntgenemissionsspektren dient der Verifikation der GIXRF-NEXAFS-Quantifizierungsansätze.