Bestimmung der chemischen Bindungen in Grenzschichten von Bor- und Siliziumcarbonitriden zum Substrat.

确定硼和碳氮化硅与基材边界层中的化学键。

• 批准号: 117370402
• 负责人: Dr. Burkhard Beckhoff
• 金额: --
• 依托单位: Arbeitsgruppe 7.24: Röntgenspektrometrie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2012-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/117370402?language=en
• 关键词: Bestimmung; der; chemischen; Bindungen; Grenzschichten

Neben den chemischen Bindungen und Strukturen in Nanoschichten ist für deren physikalische Eigenschaften die chemische Bindung in der Grenzschicht zum Substrat von Bedeutung. Zur Untersuchung dieser Grenzschichten sollen Carbonitride auf sehr flachen Substraten erzeugt werden, mit denen eine Haftung durch Chemisorption (z.B. auf Al, Ti, Fe) zu erwarten ist, und auf „inerten“ Trägern (z.B. auf Si, Cu), mit denen schwache Bindungen durch Physisorption auftreten können. Für Untersuchungen der chemischen Bindungen sollen winkelabhängige GIXRF-NEXAFS-Messungen, d.h. Röntgenabsorptionsspektrometrie bei streifendem Einfall, bei der PTB am BESSY II und XPS-, SIMS- und TEM-Untersuchungen am Fachgebiet Chemische Analytik der TU Darmstadt durchgeführt werden. Als Weiterentwicklung der GIXRF-Technik sollen durch Multilagen modifizierte stehende Wellenfeldintensitäten die Sensitivität und Auflösung im Bereich der Grenzfläche verbessern. Zur Absicherung der Ergebnisse sollen Modellierungen der NEXAFS-Spektren durchgeführt werden. Anschließend sollen der Charakter der chemischen Bindungen und die physikalischen Eigenschaften korreliert werden.

纳米奇尼奇（nanoschichtenistfürDerenderen physikalische eigenschaften die die chemiSche bindung in der Grenzschicht zum zum zum dienung in zum zum dienung in von von bedeutung）中的neben den chemischen bindungen und strukturen in nanoschichtenistfürderen physikalische eigenschaften die chemische bindung。 Zur Untersuchung Dieser Grenzschchten碳酸碳酸盐Auf Sehr Flachen substraten Erzeugt Werden，Mit Denen Eine Haftung Durch化学吸附（Z.B. Auf al，Z.B. Auf al，Ti，ti，ti，fe） Bindungen Durch物理研讨会上的GixRF-Nexafs-Messungen，D.H。 röntgenabSorptionsSspektrometerybei strifendem einfall，ptb am bessy ii und xps-，sims- und tem-untersuchungen am fachgebiet chemische chemische amarlytik der tu darmstadt darmstadt darmstadtdurchgegeggeführtwerden。 Als weiterentwicklung der gixrf-technik-sollen durch多叶元素stehende stehendewellenfeldintentententätendie diesecitivität和auflösungauflösungim bereich im bereich der der dergrenzflächeverbessern。 Zur Absicherung der Ergebnisse Sollen Modellierungen der Nexafs-SpektrendurchgeführtWerden。 Anschließendsollen der charakter der chemischen bindungen und die physikalischen eigenschaften korreliert werden。

项目成果

Nondestructive and nonpreparative chemical nanometrology of internal material interfaces at tunable high information depths.

在可调的高信息深度下对内部材料界面进行非破坏性和非制备性化学纳米计量

• DOI: 10.1021/ac3024872
• 期刊: Analytical chemistry
• 影响因子: 7.4
• 作者: B. Pollakowski;P. Hoffmann;M. Kosinova;O. Baake;V. Trunova;R. Unterumsberger;W. Ensinger;B. Beckhoff
• 通讯作者: B. Beckhoff

Silicon carbonitride nanolayers - Synthesis and chemical characterization

• DOI: 10.1016/j.tsf.2012.04.082
• 发表时间: 2012-07
• 期刊: Thin Solid Films
• 影响因子: 2.1
• 作者: P. Hoffmann;N. Fainer;O. Baake;M. Kosinova;Y. Rumyantsev;V. Trunova;A. Klein;B. Pollakowski;B. Beckhoff;W. Ensinger

Chemical interactions in the layered system BCxNy/Ni(Cu)/Si, produced by CVD at high temperature

高温 CVD 生产的 BCxNy/Ni(Cu)/Si 层状系统中的化学相互作用

• DOI: 10.1007/s00216-012-6177-2
• 发表时间: 2012
• 期刊: Analytical and Bioanalytical Chemistry
• 影响因子: 4.3
• 作者: P.S. Hoffmann;M.I. Kosinova;S. Flege;O. Baake;B. Pollakowski;V.A. Trunova;A. Klein;B. Beckhoff;F.A. Kuznetsov;W. Ensinger
• 通讯作者: W. Ensinger

Chemical bonds and elemental compositions of BCxNy layers produced by chemical vapor deposition with trimethylamine borane, triethylamine borane, or trimethylborazine

• DOI: 10.1002/xrs.2387
• 发表时间: 2012-07
• 期刊: X-Ray Spectrometry
• 影响因子: 1.2
• 作者: P. Hoffmann;O. Baake;M. Kosinova;B. Beckhoff;A. Klein;B. Pollakowski;V. Trunova;V. Sulyaeva;F. A. Kuznetsov;W. Ensinger