Plasma-Enhanced-CVD-Anlage kombiniert mit 3D Laser Lithographiesystem

纳米结构与纳米结构研究[j]，纳米结构与纳米结构研究[j]，纳米结构与纳米结构研究[j]，纳米结构与纳米结构研究[j]，纳米结构与纳米结构研究[j]，纳米结构与纳米结构研究，纳米结构与纳米结构研究，纳米结构与纳米结构研究，纳米结构与纳米结构研究，纳米结构与纳米结构研究。[3] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]研究结果表明，纳米结构的研究是在原子层析成像和透射电子显微镜下进行的。德国科学技术与物理学院（Der Fachbereich Physik in master），德国科学技术与物理学院（Der Hinblick auf Festkörperanalytik sehr gut ausgestattet），德国科学技术与基础设施学院（german infrastructure），德国科学技术与基础设施学院（german infrastructure），德国科学技术与基础设施学院（german infrastructure）。Um diese lke zuschließ en, soll eine Anlage beschafft werden， mit der aus der气相in effektiver Weise Nanostrukturen (d<s:1> nne Schichtfolgen, Nanodrähte, Quantenpunkte) gewachsen （PECVD Prozess）和zusätzlich ber光学光刻（laserlithography） in组合mit einem Trockenätz-Prozess (RIE) nanostrukturierte Oberflächen和糖dreidimensionale Strukturen hergestellt werden können。”

„Nanostrukturen und nanostrukturierte Oberflächen sind von großem Interesse in der Mikroelektronik, zunehmend aber auch in elektrochemischen oder optischen Systemen wie Feststoffbatterien, Brennstoffzellen oder Gassensoren, photonischen Kristallen. Je nach Anwendung sind ‚finite-size‘ Effekte, nano-mechanische Eigenschaften, das große Verhältnis von Oberfläche zu Volumen oder beugende Strukturen auf der Längenskala von einigen 10 bis einigen 100 nm entscheidend für die Funktion. Zudem erlauben Nanostrukturen eine direkt Untersuchung mit Hilfe der Atomsonden-Tomographie und der Transmissionselektronenmikroskopie, und damit das Studium grundlegender Fragestellungen auf atomarer Ebene. Der Fachbereich Physik in Münster ist im Hinblick auf Festkörperanalytik sehr gut ausgestattet, hat aber bisher nur eine geringe Infrastruktur um Festkörper-Nanostrukturen im Bottom-Up Prozess herzustellen. Um diese Lücke zu schließen, soll eine Anlage beschafft werden, mit der aus der Gasphase in effektiver Weise Nanostrukturen (dünne Schichtfolgen, Nanodrähte, Quantenpunkte) gewachsen (PECVD Prozess) und zusätzlich über optische Lithographie (Laserlithographie) in Kombination mit einem Trockenätz-Prozess (RIE) nanostrukturierte Oberflächen und sogar dreidimensionale Strukturen hergestellt werden können.“