Chemisch und galvanisch abgeschiedene Nanokomposite für die Mikrosystemtechnik

Die elektrochemische Dispersionsabscheidung hohe technologische Relevanz für die Erzeugung von Funktionschichten mit optierten Eigenschaften. Eingesetzt韦尔登有限公司由SiC、B4 C、Diamant或PTFE和Schichtdicken zwischen 10和100 µm组成。对于许多使用微系统技术的Schwerpunkt的Anwendungen来说，存在着许多问题，其中包括孔隙培养和不均匀的Partikelverteilung。该项目是一个发展中国家，纳米结构分散剂最大5 µm迪凯，由电镀bzw矩阵。最好是镍合金。Dabei wird auf hochdispersen Festoffeinbau（vorzugsweise TiO 2）sowie die Minimierung der partikellosen Initialschicht am Substrat fokussiert.在超临界流体影响下的超临界流体Bewusst韦尔登galvanische und chemische Schichten weiterentwickelt und eingesetzt，um deren hohes Potenzial（Konturtreue，Härte，Abrieb- und Korrosionsbeständigkeit，elektrischer Widerstand，photokatalytische Effekte u.a.我们都很好。Wechselenkungen zwischen Abscheidungsbedingungen，Werkstoffaufbau and ausgewählten Eigenschaften der Funktionschichten sind zu charakterisieren.

Die elektrochemische Dispersionsabscheidung hat hohe technologische Relevanz für die Erzeugung von Funktionsschichten mit optimierten Eigenschaften. Eingesetzt werden z.B. Komposite mit SiC, B4C, Diamant oder PTFE und Schichtdicken zwischen 10 und 100 µm. Für viele Anwendungen mit dem Schwerpunkt der Mikrosystemtechnik sind Schichten mit geringeren Dicken von Bedeutung, deren Abscheidung infolge Porenbildung und inhomogener Partikelverteilung sehr problembehaftet ist. Ziel des Projektes ist daher die Entwicklung angepasster, nanostrukturierter Dispersionsschichten mit maximal 5 µm Dicke, deren Matrix aus galvanisch bzw. außenstromlos abgeschiedenem Nickel besteht. Dabei wird auf hochdispersen Feststoffeinbau (vorzugsweise TiO2) sowie die Minimierung der partikellosen Initialschicht am Substrat fokussiert. Eigene Erfahrungen belegen, dass sich hierzu die Abscheidung unter Ultraschalleinfluss eignet, was jedoch systematisch und wissenschaftlich fundiert zu charakterisieren ist. Bewusst werden galvanische und chemische Schichten weiterentwickelt und eingesetzt, um deren hohes Potenzial (Konturtreue, Härte, Abrieb- und Korrosionsbeständigkeit, elektrischer Widerstand, photokatalytische Effekte u.a. auszuloten und zu bewerten. Die Wechselwirkungen zwischen Abscheidungsbedingungen, Werkstoffaufbau und ausgewählten Eigenschaften der Funktionsschichten sind zu charakterisieren.