Evaporations- und Sputteranlage zur Herstellung dünner Schichten

Unsere Forschung im Bereich der Plasmonik beruht auf der Nanostrukturierung von dünnen Schichten und der Herstellung von einzelnen Strukturen mit Abmessungen im Nanometerbereich. Dazu is unbedingt erforderlich，dünne Schichten aus einer Vielzahl von Metallen und amorphen Dielektrika mit hoher Qualität abscheiden zu können. Weiterhin wichtig ist die Möglichkeit der Herstellung von vertikalen Schichtanordnungen ohne Unterbrechung des zur Abscheidung nötigen Vakuums. Antrag公司的蒸发和溅射系统具有很高的质量，并在LMU的新慕尼黑纳米研究所韦尔登的一个170平方米的再结晶室中得到了应用。结合一个Elektronenstrahlithographieanlage ermöglicht dann die Herstellung von Nanostrukturen durch einen lift-off Prozess.通过我来自伦敦帝国理工学院伦敦和伦敦大学的研究小组的研究，我们发现了纳米制造的新结构。这一次，我在新的研究所里完成了我的第一项工作。我们在带有金属和纳米光的等离子体激元器件上进行的研究并不意味着真空系统的建造。

Unsere Forschung im Bereich der Plasmonik beruht auf der Nanostrukturierung von dünnen Schichten und der Herstellung von einzelnen Strukturen mit Abmessungen im Nanometerbereich. Dazu ist es unbedingt erforderlich, dünne Schichten aus einer Vielzahl von Metallen und amorphen Dielektrika mit hoher Qualität abscheiden zu können. Weiterhin wichtig ist die Möglichkeit der Herstellung von vertikalen Schichtanordnungen ohne Unterbrechung des zur Abscheidung nötigen Vakuums. Das in diesem Antrag beschriebene kombinierte System zur Evaporation und zum Sputtering von Materialien ermöglicht dies mit höchster Qualität, und wird in einem von der Gruppe geleiteten 170 Quadratmeter umfassenden Reinraum in dem neuen Nanoinstitut München der LMU untergebracht werden. Kombination mit einer Elektronenstrahllithographieanlage ermöglicht dann die Herstellung von Nanostrukturen durch einen lift-off Prozess. Die Notwendigkeit der Anschaffung ergibt sich zudem insbesondere durch den Umzug meiner Forschergruppe vom Imperial College London an die LMU, was einen Neuaufbau unserer Infrastruktur zur Nanofabrikation mit sich bringt. Die hier beantragte Gerätekombination stellt des Weiteren einen Teil der mir zugesagten Erstausstattung meiner Labore in dem neuen Institut dar. Unsere gesamte Forschung auf dem Gebiet der Plasmonik mit Metallen und Nanophotonik mit amorphen Dielektrika ist ohne den Aufbau dieses Vakuumsystems nicht möglich.