Laserlithographiesystem für dreidimensionale maskenlose Probenherstellung im sub-mikrometer Bereich

Unsere Forschung im Bereich der Nanophotonik und der Plasmonik beruht auf der Strukturierung von dünnen Schichten und Wellenleitern mit Abmessungen zwischen wenigen Nanometern bis zu mehreren Mikrometern. Während für Nanostrukturierung im wesentlichen Elektronenstrahlithographie benutzt wird，erfordert unsere Forschung auch genauste Einbettung dieser Nanostrukturen in ein mikrostrukturiertes Umfeld.这是一个非常好的激光光刻机，它具有更高的精度和更好的工作环境。带有该系统的小框架结构可以在200纳米的高度上实现，并且可以通过电子射线成像技术实现韦尔登结构。在掩模光刻中，几何形状也可以用三维结构来表征，其特征在于具有足够的能量和数百纳米的光催化韦尔登。Desweiteren wird es uns die Herstellung von dreidimensionalen Lichtkäfigen für Spektroskopie und nichtlineare Optik mit atomaren Gasen ermöglichen.该系统将在一个新的慕尼黑纳米研究所的LMU韦尔登的劳动力集团。我的研究小组从伦敦帝国学院伦敦和伦敦大学学院毕业，我的研究成果在新学院的一个实验室里得到了证实。

Unsere Forschung im Bereich der Nanophotonik und der Plasmonik beruht auf der Strukturierung von dünnen Schichten und Wellenleitern mit Abmessungen zwischen wenigen Nanometern bis zu mehreren Mikrometern. Während für Nanostrukturierung im wesentlichen Elektronenstrahllithographie benutzt wird, erfordert unsere Forschung auch genaueste Einbettung dieser Nanostrukturen in ein mikrostrukturiertes Umfeld. Das in diesem Antrag beschriebene Laserlithographiesystem ermöglicht dies mit hoher Präzision und Geschwindigkeit. Die kleinsten mit diesem System herstellbaren Strukturen weisen eine Größenordnung von etwa 200 Nanometern auf, und können daher idealerweise mit durch Elektronenstrahllithographie erzeugten Nanostrukturen verknüpft werden. Neben Anwendungen in der maskenlosen Lithographie wird das Gerät insbesondere auch zur Herstellung dreidimensionaler Strukturen mit Abmessungen von nur wenige n hundert Nanometern zur Erforschung von Energieumwandlungsprozessen für die Photokatalyse eingesetzt werden. Desweiteren wird es uns die Herstellung von dreidimensionalen Lichtkäfigen für Spektroskopie und nichtlineare Optik mit atomaren Gasen ermöglichen. Das System wird in einem von der Gruppe geleiteten Labor in dem neuen Nanoinstitut München der LMU untergebracht werden. Die Notwendigkeit der Anschaffung ergibt sich zudem insbesondere durch den Umzug meiner Forschergruppe vom Imperial College London an die LMU, und stellt ferner einen Teil der mir zugesagten Erstausstattung meiner Labore in dem neuen Institut dar.