Dreidimensionale elektrische Antastung für die Mikro- und Nanokoordinatenmesstechnik - 3-D-Tunnelstromtaster

三维电学探测微纳坐标测量技术——3维隧道电流探头

基本信息

批准号：
221143864
负责人：
Professor Dr.-Ing. Tino Hausotte
金额：
--
依托单位：
Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2012
资助国家：
德国
起止时间：
2011-12-31 至 2015-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/221143864?language=en
关键词：
Dreidimensionale elektrische Antastung die Mikro

项目摘要

Die messtechnische Erfassung von Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Komponenten mit Mikrostrukturen erfordert Nanometer-aufgelöste 3-D-fähige Messverfahren. Optische Systeme zeigen beugungsbedingt und bei hohen Aspektverhältnissen Einschränkungen. Mikrotaktile Verfahren weisen Defizite bei Auflösung, Messgeschwindigkeit und Tastersteifigkeit auf. Ziel des Forschungsvorhabens ist ein universell einsetzbares, aktives Messsystem mit 3-D-richtungssensitivem und berührungsfreiem Antastverhalten bei Subnanometer-Auflösung, welches mit elektrischer Wechselwirkung im Nahfeldbereich arbeitet. Die Bestimmung des 3-D-Antastvektors ist für Freiformscans und eine aktive Sensornachführung erforderlich und soll mittels mechanischer Modulation erfolgen. Die aktive Sensornachführung dient zur Steigerung der Systemdynamik. Das fundierte Verständnis der Wechselwirkung und der erfassten elektrischen Oberfläche soll durch mathematisch-physikalische Modellierung und über eine simulationsgestützte experimentelle Systemanalyse erlangt werden. Eine antastrichtungsabhängige Formabweichungskorrektur der sphärischen Sonden soll zur Erhöhung der Genauigkeit bei den miniaturisierten Sonden dienen. Modellunterstützt erfolgen eine messtechnische Charakterisierung und eine Unsicherheitsermittlung. Experimentelle Vergleiche mit anderen Antastverfahren der Mikro- und Nanomesstechnik an Demonstratorbauteilen sollen die erzielten Ergebnisse verifizieren.

Messtechnische Erfassung von bauteilen der Mikrosystemtechnik und Komponenten Mikrostructure erfordert nanomer-aufgelöste3-d-fähigeMessverfahren。 Messergetics一直是Aspektverhältnisseneinscherren kungen。 Messtechnische Erfassung，Messgeschwindigkeit AUF。 Ziel des Forschungsvorhabens是最好的Ein Universell Einsetzbares，Aktives Messsystem Mit 3-D-RichtungsSensItivemundBerührungsfreiemantastverhalten bei subnanometome-auflösung，Welches mit Elektrischerwecherwechselwirkungkunk imnahahnahahahnahahahnahahahnahahahnahahnahahahnahahnahahnahahnahahnahahnahahnah areich areich an arich an arich an arich an. DIE BESTMMUNG DES 3-D-ANTASTVEKTORSISTFürfreiformScans和Eine AktivesensornachführungErforderlichund soll soll Mittels Meginischer调制Erfolgen。 Die AktiveSensornachführungDient Zur Steigerung der Systemdynamik。 Das Fundierteverständnisder Wechselwirkung und der Erfassten elektrischenoberflächesoll durch durch Mathematisch-Physikalische modellierung und eine simulatesgestundementulle einementungesgestundementunle fastemultunle systerimentelle systemelle systemanalyseAnalyse erlangt werden。 Eineantastrichtungsabhängigeformabweichungskorrektur dersphärischensonden soll sollzurerehöhoungzurerhöhoungden genauigkeit bei den miniaturisierten sonden dienen。 Modellunterstützt是处理不科学体验的最佳方法。实验vergleiche麻省理工学院和不稳定且不稳定的mikro- und nanoMesstechnik a Disteratorbauteilen sollen die erzielten ergebnisse verifisieren。