Profilometrie mit einem Mehrwellenlängen-Diodenlaserinterferometer

根据Mehrwell ln-ngen干涉法，我们使用了轮廓仪和地形测量仪。我们用激光干涉法测量了1000微米、1000微米和1000微米的纳米尺寸。Durch den groçen Eindeutigkeitsbereich könnnen Rauheits-and FormMessungen Gleichzeitig duchgeführt.从现在开始，我们将继续努力，以更好的方式为自己的未来服务。当你走进世界各地的时候，你的眼睛会同时出现在你的眼睛里，从你的眼睛里看着你的眼睛。BEI der Trennung der Einzelnen Wellenlängen im Empf f Soll Solf Optische Hilfsmittel Wie Z.B.Farbteeller，Gitter，akustooptische Modulatoren o.A.verzichtet den.这是一种不同于传统地衣的激光治疗方法。Aus den Oberwell en des Interferenzignals können Quadratursignale Generiert，die eine Einfache Auswertung MIT Hilfe von A/D-Wandlern erlaben.

Auf der Basis der Mehrwellenlängeninterferometrie soll ein punktweise abtastendes Profilometer zur Messung der Topographie von Oberflächen entwickelt werden. Dabei sollen die physikalischen und technischen Voraussetzungen für den Aufbau eines interferenzoptischen DiodenlaserProfilometers mit einem Eindeutigkeitsbereich von mehr als 1000µm und einer Auflösung von einem Nanometer untersucht werden. Durch den großen Eindeutigkeitsbereich können Rauheits- und Formmessungen gleichzeitig durchgeführt werden. Der Einsatz von Diodenlasern ermöglicht nicht nur einen kompakten und einfachen Aufbau, sondern insbesondere auch die kommerzielle Verfügbarkeit zahlreicher Emissionswellenlängen zur Erzeugung beliebiger synthetischer Wellenlängen vom Mikrometer- bis zum Millimeterbereich. Das zu entwickelnde Verfahren basiert auf einer simultanen Messung mit allen verwendeten Wellenlängen sowie auf einer Minimierung der Phasenfehler durch Einkopplung aller verwendeten Laserwellenlängen in eine einzige Glasfaser. Bei der Trennung der einzelnen Wellenlängen im Empfänger soll auf optische Hilfsmittel wie z.B. Farbteiler, Gitter, akustooptische Modulatoren o. a. verzichtet werden. Statt dessen werden die Wellenlängen der verwendeten Diodenlaser mit unterschiedlichen Frequenzen moduliert. Aus den Oberwellen des Interferenzsignals können Quadratursignale generiert werden, die eine einfache Auswertung mit Hilfe von A/D-Wandlern erlauben.