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Entwicklung eines magnetooptischen Wirbelstrommikroskops zur hochauflösenden Prüfung im oberflächennahen Bereich

Entwicklung eines magnetooptischen Wirbelstrommikroskops zur hochauflösenden Prüfung im oberflächennahen Bereich
开发用于近地表区域高分辨率测试的磁光涡流显微镜
批准号:
5158478
负责人:
Professor Dr.-Ing. Horst-Artur Crostack
金额:
$0.0万
依托单位国家:
德国
项目类别:
Research Grants
财政年份:
1999
资助国家:
德国
项目状态:
已结题
起止时间:
1998-12-31 至 2002-12-31

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
Wirbelstromsensoren zur Verbesserung des Auflösungsvermögen bis in den Submikrometerbereich print zipbedingt beeits ihre Grizenego?en ist,soll in Dm beantragten Forschungsvorhaben das print zip der Faraday-Mikroskopie,D.H.MIT希尔菲勒磁光机是一种特殊的磁光技术,它是一种特殊的磁光技术,它是一种新型的磁学技术。它是最好的磁光器件,也是最好的磁极材料,它的偏振作用很大程度上取决于它的特性。这是一种新的学习方法,它可以用来模拟和学习。Ferner Sollen Auflösungsvermögen and Empfindlichkeit des Neuen Magicooptischen Wirbelstrommikroskopps和手写Spezieller Modelproen MIT定义了Strukturen BIS in den Submikrometerbereich untersuht and Optimiert Wirbelstrommikroskop。我不知道你的名字是什么,我不知道你的名字是什么。
英文摘要
Weil die Weiterentwicklung konventioneller induktiver Wirbelstromsensoren zur Verbesserung des Auflösungsvermögens bis in den Submikrometerbereich prinzipbedingt bereits an ihre Grenzen gestoßen ist, soll in dem beantragten Forschungsvorhaben das Prinzip der Faraday-Mikroskopie, d.h. die hochauflösende Abbildung magnetischer Felder mit Hilfe spezieller magneto-optischer Sensoren auf die spezifischen Anforderungen der Wirbelstromprüfung angewendet und zur hochauflösenden Abbildung von Wirbelstromverteilungen eingesetzt werden. die Grundlage dieses magnetooptischen Wirbelstrommikroskops bildet der optische Faraday-Effekt, daß heißt die Drehung der Polarisationsebene von Licht in einer speziellen Kristallschicht, die von dem zu messenden Magnetfeld durchflutet wird. Die notwendige Wirbelstromanregung wird dabei mit Hilfe von Simulationsrechnungen konzipiert und aufgebaut. Ferner sollen Auflösungsvermögen und Empfindlichkeit des neuen magnetooptischen Wirbelstrommikroskops anhand spezieller Modellproben mit definierten Strukturen bis in den Submikrometerbereich untersucht und optimiert werden. Hierbei sind insbesondere die Meßeinflüsse durch die Oberflächenbeschaffenheit (z.B. Rauheit) in Abhängigkeit von der über die Wirbelstromfrequenz einstellbaren Wirktiefe zu berücksichtigen.
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