Strömungskinematik in Hohlkathoden - Plasmajet - Entladungen für Oberflächenprozesse

Die Leistungsfähigkeit von Plasmaquellen fr r Die Materialwissenschaft /- technology wind nachgem Stand bevorzugt auder Basis der elektrischen Leistungsbilanz beweret。Dieses Vorgehen impliziert eine homogene Gasströmung begleichzeitig fester Residenzzeit von Primär-Gaspartikeln im plasmaanregenden volume。Eine derartige Annahme ist unzureichend und realitätsfern。Die daraus resultierenden Schwierigkeiten werden besonders deutlich bei sich ändernden betriebparametern der Quellen, sich ändernden Lastzuständen （Beladung mit substrate and generell der geometrischen Skalierung）。Mehr noch: Ziel musß sein, das gesamte plasmassystem, welches die plasmaerzeeugenden Komponenten als Subsystem enthält, zu berksichtigen。Sowohl die elektrische Leistungskopplung mit dem Plasma als Last als auch die gleichzeitig präsente Druck- und Geometrie abhängige Gasströmung im Gesamtsystem simtan zu bercksictigen。13,56 MHz HCD -300等离子体-等离子体（HCD -300） sollen erste Schritte in dieser Richtung，即einer umfassenderen Feld- und Strömungssimulation gegangen werden， um eine bessere Basis f<e:1> r die Konzeption leistungsfähigerer等离子体- und radikalenenellen begleichzeitiger bercksichtigung des gesamtem proze - raumes in einem ausgedehnten Arbeitsdruckbereich zu erhalten。在arbeitsmethodischer Reihenfolge umfaßt dies中：1。实施cfd程序市场（FLUENT, Fa）。2. Fluent公司，黎巴嫩，新罕布什尔州，美国)；2 . bercksichtigung原子与分子Gase (Strömungsverhalten und -geschwindigkeiten, Verweildauer der Spezies im System)；Korrelation der Strömungssimulation mit Ergebnissen aus feldrechungen (MAFIA, Fa。CST-Gesellschaft <s:2>计算机仿真技术有限公司，达姆施塔特)。

Die Leistungsfähigkeit von Plasmaquellen für die Materialwissenschaft /-technologie wird nach heutigem Stand bevorzugt auf der Basis der elektrischen Leistungsbilanz bewertet. Dieses Vorgehen impliziert eine homogene Gasströmung bei gleichzeitig fester Residenzzeit von Primär-Gaspartikeln im plasmaanregenden Volumen. Eine derartige Annahme ist unzureichend und realitätsfern. Die daraus resultierenden Schwierigkeiten werden besonders deutlich bei sich ändernden Betriebsparametern der Quellen, sich ändernden Lastzuständen (Beladung mit Substraten und generell der geometrischen Skalierung.Mehr noch: Ziel muß sein, das gesamte Plasmasystem, welches die plasmaerzeugenden Komponenten als Subsystem enthält, zu berücksichtigen. Sowohl die elektrische Leistungskopplung mit dem Plasma als Last als auch die gleichzeitig präsente Druck- und Geometrie abhängige Gasströmung im Gesamtsystem sind simultan zu berücksichtigen.Am Beispiel einer im fmt entwickelten und technologisch relevanten 13,56 MHz Hohlkathoden Plasmajet-Plasmaquelle (HCD L-300) sollen erste Schritte in dieser Richtung, i.e. einer umfassenderen Feld- und Strömungssimulation gegangen werden, um eine bessere Basis für die Konzeption leistungsfähigerer Plasma- und Radikalenquellen bei gleichzeitiger Berücksichtigung des gesamtem Prozeßraumes in einem ausgedehnten Arbeitsdruckbereich zu erhalten. In arbeitsmethodischer Reihenfolge umfaßt dies: 1. Implementierung eines CFD-Programmpaketes (FLUENT, Fa. Fluent Inc., Lebanon, NH, USA), 2. Berücksichtigung atomarer und molekularer Gase (Strömungsverhalten und -geschwindigkeiten, Verweildauer der Spezies im System) und 3. Korrelation der Strömungssimulation mit Ergebnissen aus Feldrechnungen (MAFIA, Fa. CST-Gesellschaft für Computer Simulationstechnik mbH, Darmstadt).