Untersuchungen zur Anwendung von c-BN-Filmen in der Rastersondenmikroskopie - Charakterisierung der mechanischen und elektrischen Eigenschaften von c-BN-Schichten

在新的技术体系中，所有的技术都不是最好的，而是最重要的。从技术和技术上看，这是一种新的技术和技术。他说：“我的工作就是把他们的工作机制和工作做得更好。

Ziel dieses Vorhabens ist die Anwendung von c-BN-Schichten in der Mikrosystemtechnologie, insbesondere für Sonden für die Rastersondenmikroskopien. Um dieses Ziel zu erreichen, soll im Bereich der Technologie vor allem die Abscheidung von c-BN auf nicht-planaren Substraten (insbesondere Spitzen) sowie die Strukturierung von c-BN-Schichten untersucht werden. Diese Arbeiten werden von einer umfassenden Charakterisierung von c-BNFilmen bezüglich ihrer mechanischen und elektrischen Eigenschaften begleitet, die letztlich zu einer Schichtoptimierung im Hinblick auf die geplanten Anwendungen führen soll.