Beeinflussung des SiGe-Insel-Wachstums durch modifizierte Substrate und Weiterentwicklung der Charakterisierung von SiGe-Inseln mittels diffuser Röntgenstreuung

SiGe-Inseln können auf Silizium-Substrat mittels LPE gezüchtet韦尔登，wobei recht homogene Größen- und Positionsvertelung erreicht wird.这三个因素的影响力都很大。10 nm的光，在量子效应的作用下。Ziel des vorliegenden Projekts ist es，durch die gezielte Einstellung von bestimmten Morphologien oder Spannungsverteilungen an der Substratoberfläche geringere Inselgrößen zu erzielen.在此基础上，对一种无菌改性的基质进行了实验研究，获得了Oberflächenmorphology z.B. Stufenbündel（Fehlschnitt）bzw. Gleitstufen（plastisch relaxierte Zwischenschicht）usw.另外，对于一个小的Beeinflussung来说，它是一个通用的Inselnukleation erforderlich版本。这也是一个实验项目，最好的创新前景是完全可行的。这种成核分析是一种对弹性变形的精确估计。漫射辐射源是由韦尔登产生的，它是由Meßverfahrens的Weiterentwicklung bezüglich方法和Datenauswertung erfordert的其他方法确定的。

SiGe-Inseln können auf Silizium-Substrat mittels LPE gezüchtet werden, wobei recht homogene Größen- und Positionsverteilung erreicht wird. Die Inselgröße liegt aber mindestens um den Faktor 3 oberhalb jener ca. 10 nm Größe, bei der Quanteneffekte einsetzen würden. Ziel des vorliegenden Projekts ist es, durch die gezielte Einstellung von bestimmten Morphologien oder Spannungsverteilungen an der Substratoberfläche geringere Inselgrößen zu erzielen. In diesem Sinne sind Wachstumsexperimente auf einer Reihe unterschiedlich modifizierter Substrate geplant, deren Oberflächenmorphologie z.B. Stufenbündel (Fehlschnitt) bzw. Gleitstufen (plastisch relaxierte Zwischenschicht) usw. ausweist.Für eine gezielte Beeinflussung ist aber ein genaueres Verständnis der Inselnukleation erforderlich. Daher sind auch Wachstumsexperimente geplant, die bestimmte Aspekte der Inselnukleation erhellen sollen. Für diese Analyse der Nukleation ist eine präzise Bestimmung der elastischen Deformation in den Inseln und deren Umgebung erforderlich. Diffuse Röntgenstreuung soll dafür eingesetzt werden, was erhebliche Anstrengungen zur methodischen Weiterentwicklung bezüglich des Meßverfahrens und vor allem bezüglich der Datenauswertung erfordert.