Mikromechanische und elektronische Diamantanwendungen: Untersuchung der elektrochemischen Aktivität und Stabilität von CVD-Diamantschichten

钻石是一个有大支架的小东西。这颗钻石在电力方面有很大的潜力。Polykristalline Diamantschichten können mittels CVD-Verfahren auf Silizium hergestellt韦尔登。Ferner ist prinzipiell auch eine Abscheidung auf metallischen Substraten möglich. DöttenDotierung mit Bor können hohe elektrische Leitfähigkeiten in Diamantschichten erzeugt韦尔登. Dotierte Diamantschichten können somit als Elektrodensubstrate für eine Vielzahl von elektrochemischen Prozessen dienen.Im Rahmen des Vorhabens wird das elektrochemische Verhalten dotierter Diamantschichten untersucht.本文基于对电动车技术的研究，提出了一种新的电动韦尔登模型，该模型具有较高的动力性和稳定性。Im Rahmen des Vorhabens韦尔登deshalb die kapazitiven Eigenschaften solcher Schichten in Abhängigkeit der Dotierungsart und -menge untersucht. Densbesondere Wachstumsbedingungen können Schichten mit hoher Oberflächenrauhigkeit erzeugt韦尔登，die unter Umständen einen Einerals Superkondensatoren erlauben.

Diamant ist ein Halbleiter mit großem Bandabstand. Aus diesem Grund zeigt Diamant ein großes offenes Potentialfenster in wäßrigen Elektrolyten. Polykristalline Diamantschichten können mittels CVD-Verfahren auf Silizium hergestellt werden. Ferner ist prinzipiell auch eine Abscheidung auf metallischen Substraten möglich.Durch Dotierung mit Bor können hohe elektrische Leitfähigkeiten in Diamantschichten erzeugt werden. Dotierte Diamantschichten können somit als Elektrodensubstrate für eine Vielzahl von elektrochemischen Prozessen dienen.Im Rahmen des Vorhabens wird das elektrochemische Verhalten dotierter Diamantschichten untersucht. Basierend auf grundlegenden Untersuchungen des Korrosionsverhaltens solcher Schichten in Abhängigkeit von Dotierungsart und -menge in verschiedenen Elektrolyten werden Modellelektroden hinsichtlicher ihrer Aktivität und Stabilität unter anwendungsnahen Bedingungen für technische Elektrolysen untersucht.Infolge des weiten Potentialfensters sind Diamantschichten prinzipiell auch für die Anwendung in Doppelschichtkondensatoren interessant. Im Rahmen des Vorhabens werden deshalb die kapazitiven Eigenschaften solcher Schichten in Abhängigkeit der Dotierungsart und -menge untersucht. Durch besondere Wachstumsbedingungen können Schichten mit hoher Oberflächenrauhigkeit erzeugt werden, die unter Umständen einen Einsatz als Superkondensatoren erlauben.