PACVD-Synthese und Charakterisierung von Si/(B)/C/N-Hartstoffschichten für tribologische Anwendungen

在fachübergreifender Kooperation Sollen Si/C/N-und Si/C/B/N Hartstoffschichellt，der CVD-proze？schichellt and die Hartstoffschichten Material With Senshaftlich and we kstoffkundlich charakterisiert，um den CVD-proze？als Gesamttsystem Chemisch and verfahrenstechnisch umfassend zu Betrachten.HARTSTOFSchichten Sollen Aus einkomponentigen Si/C/N-and Si/C/B/N-Vorläufern Mittels RF-等离子-CVD auf Dieselbe Weise im Fachgebiet disdisse Feststoffe(TU Darmstadt)and im Bereich Lasertech ik(IPHT Jena)hersterellt.在CVD-Prozeüsoll在耶拿的实验和手中的气相在DER Schichtbildungsebene原位Mittels lasgzter FlugzeitmasenSpektrometrie and im Institut für AnOrganche Chemie(RWTH Aachen)理论hinsichtlich Gathasen-und Oberflächenreaktionen Mittels quantthescher Methoden Methoden等。De im Fachgebiet disdisse Feststoffe(TU Darmstadt)erzeugten Hartstoffschichten Sowie Vergleichsproen Aus Jena wden im Institut für Werkstoffkunde(TU Darmstadt)hinsichtlich机械师Eigigspannungen，Häre and Tribology ischer Eigenschaften Sowie Verschleiü-und Korrosionsverhalten charakterisiert。Gleichzeitig in Fachgebiet disdisse Feststoffe(TU Darmstadt)die Elementzusammensetzung and die Chemische Strukturder Schichten Detailliert untersuht.从理论和经验的角度来看，这些理论和经验是真实的、完整的。

In fachübergreifender Kooperation sollen Si/C/N-und Si/C/B/NHartstoffschichten hergestellt, der CVD-Prozeß experimentell und theoretisch untersucht und die Hartstoffschichten materialwissenschaftlich und werkstoffkundlich charakterisiert werden, um den CVD-Prozeß als Gesamtsystem chemisch und verfahrenstechnisch umfassend zu betrachten. Die Hartstoffschichten sollen aus einkomponentigen Si/C/N- und Si/C/B/N-Vorläufern mittels RF-Plasma-CVD auf dieselbe Weise im Fachgebiet Disperse Feststoffe (TU Darmstadt) und im Bereich Lasertechnik (IPHT Jena) hergestellt werden. Der CVD-Prozeß soll in Jena experimentell anhand der Gasphase in der Schichtbildungsebene in situ mittels lasergestützter Flugzeitmassenspektrometrie und im Institut für Anorganische Chemie (RWTH Aachen) theoretisch hinsichtlich Gasphasen- und Oberflächenreaktionen mittels quantentheoretischer Methoden untersucht werden. Die im Fachgebiet Disperse Feststoffe (TU Darmstadt) erzeugten Hartstoffschichten sowie Vergleichsproben aus Jena werden im Institut für Werkstoffkunde (TU Darmstadt) hinsichtlich mechanischer Eigenspannungen, Härte und tribologischer Eigenschaften sowie Verschleiß- und Korrosionsverhalten charakterisiert. Gleichzeitig wird im Fachgebiet Disperse Feststoffe (TU Darmstadt) die Elementzusammensetzung und die chemische Struktur der Schichten detailliert untersucht. Aus Korrelationen zwischen Abscheidebedingungen, Art und Eigenschaften der Gasphasenspezies, Oberflächenprozessen sowie den relevanten Harstoffschichteigenschaften werden theoretisch und empirisch Reaktionsmodelle für ein vertieftes, integrales Verständnis des ausgewählten CVD-Verfahrens erarbeitet.