Investigations to improve the measurement accuracy for testing cylindrical surfaces with the help of computer generated holograms by implementing an absolute test

干涉测量技术在德国的应用，在德国的应用，在德国的应用，在德国的应用，在德国的应用，在德国的应用。在dem von ununentwickelten Verfahren dienen计算机generierte全息图也Vergleichsnormale <s:1>或die zutestenden Flächen des prflings。[…[参考文献][限制][enderend] r die absolute Genauigkeit bei der Formmessung ist die Qualität der verwendeten optischen element， insbesonere die der computergenerierten hologram。在子午线上与子午线上与子午线上与子午线上与子午线上的子午线上与子午线上的子午线上与子午线上的子午线。demgegen7 .她的波导模在干涉干涉的情况下，在干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下，在干涉干涉干涉的情况下进行干涉干涉。在实践的极端主义中，我们有一个例子。1 . Die systematischen Wellenfrontfehler lassen（德国）有限公司（德国）有限公司（德国）有限公司（德国）有限公司Die Realisierung eines solchen Masters ist aber extreme schwierig, da aucth dieserer erst ermal voraber gerpref werden msste。schließ ßlich ist jegliche Messung fehlerbehafet，所以每一个zum Beispiel eine master - alibrierung都有一个协调机器。demgegen<s:1> ber kommen Absolutverfahren ohne solche präzisen Master-Messobjekte aus。在干涉仪的定位和定向测量中，采用高精度的干涉仪进行了高精度的定位和定向测量。absolutpr<s:1> fverfahren sinberits f<s:1> r ebene， kugelförmige和zylindrische Flächen unter senkrechtem Einfall bekant。在此基础上，推导出了一种新的方法：<s:1>绝对测量法(r) Oberflächen (ter streifender Inzidenz entwickelt werden)，即在类推法（Analogie）中推导出另一种方法Regelflächen （ebenfalls Mehrstellungstests verwendet werden sollen）。Die streifende Inzidenz ermöglicht auth Die interferometerische Messung von rauen Oberflächen und Die benötigten CGHs f<e:1> r den Nulltest（零测试）；infinfherzustellen（补偿）和Die compensationsoptiken f<e:1>（补偿）。Außerdem ist die komplette Oberfläche der pringingauf emal zugänglich。Die Problematik, im Vergleich mit dem Test von Ebenen oder Kugeln, ligin der komplepleen Geometrie des streifenden Inzidenz-Aufbaus。Damit verbunden sind aufwendigere Bewegungen bem durchfhren des Mehrstellungstests。

Interferometrie mit streifender Inzidenz ist ein Messverfahren, das die makroskopische Gestaltprüfung von technischen, d. h. optisch rauen Oberflächen mit einer Genauigkeit im sub-µm-Bereich erlaubt. In dem von uns entwickelten Verfahren dienen computergenerierte Hologramme als Vergleichsnormale für die zu testenden Flächen des Prüflings. [...] Limitierend für die absolute Genauigkeit bei der Formmessung ist die Qualität der verwendeten optischen Elemente, insbesondere die der computergenerierten Hologramme. Bedingt durch die interferometrische Prüfung mit Hilfe von CGH in streifender Inzidenz tritt eine Wellenfrontinversion der Prüflingswelle am Meridian desselben auf. Demgegenüber wird die Referenzwelle in Form der ungebeugten nullten Ordnung nicht invertiert, so dass Wellenfrontdeformationen des Kollimators zu dem Fehlerbudget beitragen, sofern der Fehler nicht gerade die Inversionssymmetrie der interferometrischen Anordnung hat. Letzteres ist aber in der Praxis extrem unwahrscheinlich. Die systematischen Wellenfrontfehler lassen sich natürlich durch aufwendige Kalibrierung, unter Verwendung hochgenauer Masterzylinder korrigieren. Die Realisierung eines solchen Masters ist aber extrem schwierig, da auch dieser erst einmal vorab geprüft werden müsste. Schließlich ist jegliche Messung fehlerbehaftet, so auch zum Beispiel eine Master-Kalibrierung mit einer Koordinatenmessmaschine. Demgegenüber kommen Absolutverfahren ohne solche präzisen Master-Messobjekte aus. Die systematischen Fehler werden durch mehrere Messungen des Prüflings in unterschiedlichen Positionen und Orientierungen im Interferometer beseitigt. Absolutprüfverfahren sind bereits für ebene, kugelförmige und zylindrische Flächen unter senkrechtem Einfall bekannt. Hier soll eine Methode für den Absoluttest von zylindrischen Oberflächen unter streifender Inzidenz entwickelt werden, wobei in Analogie zu den vorher genannten Regelflächen ebenfalls Mehrstellungstests verwendet werden sollen. Die streifende Inzidenz ermöglicht auch die interferometrische Messung von rauen Oberflächen und die benötigten CGHs für den Nulltest sind einfacher herzustellen als die Kompensationsoptiken für senkrechte Inzidenz. Außerdem ist die komplette Oberfläche der Prüflinge auf einmal zugänglich. Die Problematik, im Vergleich mit dem Test von Ebenen oder Kugeln, liegt in der komplexeren Geometrie des streifenden Inzidenz-Aufbaus. Damit verbunden sind aufwendigere Bewegungen beim Durchführen des Mehrstellungstests.