Anlage zur Herstellung amorpher Silizium-Schichten

Die beantragte a- si - anage erweitert Die wissenschaftlichen und technologischen Möglichkeiten der Arbeitsgruppen photovoltak and Sensorik des Instituts of Physikalische elektrik (ipe) in den Bereichen：低温钝化（undertemperature passivierung） und -kontaktierung von单晶和多晶硅酸太阳能（solarzellen）， sowohl fir industrielle Standardzellen, als auch f<e:1>柔性（flexible）， hocheffiziente Transferzellen；单晶和多晶Si-Zellen的异质结构- (HIT) Solarzellen柔性Solarzellen und模块aus a-Si und nc-Si f<e:1> r bekleidungs集成基金Kleingeräteversorgung；太阳能光伏组件技术与应用；薄膜- cmos相机中光电检测的一维集成生物分析研究所，美国，科斯滕，<s:1> nnschichtphotodetoren <e:1>, nstigeneinwegsensorenUnseres Wissens wind welweltwkeine a-Si pecvd - anage mit der Möglichkeit wahlweiser Verwendung柔韧剂和starstar底物在den benötigten Formaten凝胶。死beantragte癖性bietet第一次Moglichkeit死去,一张zum专利angemeldete Erfindung des ipe苏珥原位Serienverschaltung灵活Dunnschichtsolarzellen im卷对卷Betrieb祖茂堂testen和魏特祖茂堂entwickeln。<s:1> r die光伏生产公司<e:1> ssen die vielversprechenden passiviverfahren bei温度：200°C auf Industrieformaten von mindestens 21 × 21 cm非高温。光电检测技术已被应用于8-Zoll硅片、hchoptimiter auslese - ktronikintegrgriert、ochoptimiter auslese - ktronikintegrgriert、ochtitik Bioanalytik auplicfolie entwickelt。

Die beantragte a-Si-Anlage erweitert die wissenschaftlichen und technologischen Möglichkeiten der Arbeitsgruppen Photovoltaik und Sensorik des Instituts für Physikalische Elektronik (ipe) in den Bereichen:Niedertemperaturpassivierung und -kontaktierung von mono- und multikristallinen Siliziumsolarzellen, sowohl für industrielle Standardzellen, als auch für flexible, hocheffiziente Transferzellen;Heterostruktur- (HIT) Solarzellen mit a-Ss und nc-Si auf mono- und multikristallinen Si-Zellen;flexible Solarzellen und -module aus a-Si und nc-Si für Bekleidungsintegration und Kleingeräteversorgung;in-situ Serienverschaltung von Dünnschicht-Photovoltaikmodulen mit neuartigem Verfahren;dreidimensionale Integration von Photodetektoren in Thin-Film-on-CMOS-Kameras;spezialisierte Dünnschichtphotodetektoren für die Bioanalytik, u.a. in kostengünstigen Einwegsensoren.Unseres Wissens wird weltweit keine a-Si PECVD-Anlage mit der Möglichkeit wahlweiser Verwendung flexibler und starrer Substrate in den benötigten Formaten angeboten. Die beantragte Anlage bietet erstmals die Möglichkeit, eine zum Patent angemeldete Erfindung des ipe zur in-situ Serienverschaltung flexibler Dünnschichtsolarzellen im reel-to-reel Betrieb zu testen und weiter zu entwickeln. Für die Photovoltaikproduktion müssen die vielversprechenden Passivierverfahren bei Temperaturen um 200 °C auf Industrieformaten von mindestens 21 x 21 cm untersucht werden. Die Photodetektoren werden entweder auf 8-Zoll Wafern mit hochoptimierter Auslese-Elektronikintegriert, oder für Einwegprodukte der Bioanalytik auf Plastikfolie entwickelt.