Modulares UHV Clustersystem für MBE und ARPES

“Phasenwechselmaterialien stellen eine der vielversprechendsten Materialklassen für die nichtflüchtige Datenspeicherung dar.您可以选择一个非常复杂的物理现象，但这并不意味着您已经开始了。Ziel des Projektes is daher die Herstellung und Charakterisierung epitaktisch gewachsener Dünnschichten aus Phasenwechselmaterialien in einem Ultrahochvakuum-Schutersystem.分子束外延（MBE）技术可以从一个韦尔登衬底上的相外延材料中获得外延层，也可以通过硅基沉积物参数的选择韦尔登获得外延层。Damit stünden weltweit erstmalig epitaktische Phasenwechselmaterialien in der technologisch relevanten kristallinen Phase für eine Untersuchung der elektronischen Eigenschaften zur Verfügung. Zur präzisen Bestimmung dieser Eigenschaften soll die winkelaufgelöste Photoelektronenspektroskopie eingesetzt韦尔登.我们可以通过现场准备相关阶段的电气特性来进行实验。Daher wird ein modulares Präparations- und Analysesspeaking benötigt.“

„Phasenwechselmaterialien stellen eine der vielversprechendsten Materialklassen für die nichtflüchtige Datenspeicherung dar. Sie zeigen zudem eine Vielzahl von faszinierenden physikalischen Phänomenen, die noch nicht vollständig entschlüsselt sind. Ziel des Projektes ist daher die Herstellung und Charakterisierung epitaktisch gewachsener Dünnschichten aus Phasenwechselmaterialien in einem Ultrahochvakuum-Clustersystem. Mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE) sollen sowohl epitaktische Schichten aus Phasenwechselmaterialien auf einem einkristallinen Substrat deponiert werden, als auch entsprechende amorphe Schichten durch Wahl geeigneter Depositionsparameter abgeschieden werden. Damit stünden weltweit erstmalig epitaktische Phasenwechselmaterialien in der technologisch relevanten kristallinen Phase für eine Untersuchung der elektronischen Eigenschaften zur Verfügung. Zur präzisen Bestimmung dieser Eigenschaften soll die winkelaufgelöste Photoelektronenspektroskopie eingesetzt werden. Durch umfangreiche Vorexperimente konnten wir zeigen, dass nur durch in-situ Präparation der Schichten die elektronischen Eigenschaften der relevanten Phasen zugänglich sind. Daher wird ein modulares Präparations- und Analysesystem benötigt.“