课题基金 / 基金详情

Ion milling delayering

Ion milling delayering
离子铣削延迟
批准号：
411410-2010
负责人：
Charlebois, Serge
金额：
$1.82万
依托单位：
Université de Sherbrooke
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Engage Grants Program
财政年份：
2010
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2010-01-01 至 2011-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=472971
关键词：
Ionmillingdelayering

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
半导体芯片分层是由Chipworks完成的，目的是在以电路设计为中心的许可和法律的案件中建立专利侵权的技术证据。Chipworks是一家总部位于加拿大渥太华的公司，是该领域公认的领导者。传统上使用的方法，如化学机械抛光或反应离子蚀刻，在芯片上逐层去除材料（分层），受到不断缩小的尺寸和新技术中遇到的更大的材料多样性的极大挑战。
英文摘要
Semiconductor chip delayering is done by Chipworks to establish technical evidence of patent infringement in licensing and legal cases centred on circuit design. Chipworks is an Ottawa based Canadian company which is the recognised leader in this field. Methods traditionally used remove layer by layer of materials on the chip (delayering), such as chemical-mechanical polishing or reactive ion etching, are greatly challenged by the always reducing sizes and the greater material diversity encountered in new technologies.
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会议论文
The nEXO Search for Neutrinoless Double Beta Decay
  • 批准号：
    SAPPJ-2022-00021-2
  • 项目类别：
    Subatomic Physics Envelope - Project
  • 资助金额：
    $13.4万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Charlebois, Serge
  • 依托单位：
    Université de Sherbrooke
Sensitvity leap for far ultraviolet single photon avalanche diodes
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06409
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.75万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Charlebois, Serge
  • 依托单位：
    Université de Sherbrooke
Sensitvity leap for far ultraviolet single photon avalanche diodes
  • 批准号：
    RGPIN-2017-06409
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $1.75万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Charlebois, Serge
  • 依托单位：
    Université de Sherbrooke
The nEXO Search for Neutrino-less Double Beta Decay
  • 批准号：
    SAPPJ-2020-00023-3
  • 项目类别：
    Subatomic Physics Envelope - Project
  • 资助金额：
    $14.72万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Charlebois, Serge
  • 依托单位：
    Université de Sherbrooke
海外基金