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Low cost and high throughput manufacturing of high aspect ratio AFM probes

Low cost and high throughput manufacturing of high aspect ratio AFM probes
高深宽比 AFM 探针的低成本和高产量制造
批准号：
490538-2015
负责人：
Cui, Bo
金额：
$2.91万
依托单位：
University of Waterloo
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Collaborative Research and Development Grants
财政年份：
2016
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-01-01 至 2017-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=601454
关键词：
Lowcostthroughputmanufacturingaspect

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
原子力显微镜(AFM)是一种广泛用于纳米尺度表征的工具，在IBM、英特尔、AMD和希捷等大型半导体公司中广泛应用，以确保其芯片和小型电子产品的质量。它还被广泛应用于各种研究领域和新兴技术。原子力显微镜最重要的部分是探头或尖端，它“感觉”到样品表面，并创建样品表面的三维图像。为了获得高质量的逼真图像，需要非常高的纵横比的尖端；也就是说，尖端必须又细又长。但这些高纵横比的贴士制作起来非常困难，因此非常昂贵(每个贴士70-500美元)，而且买得很少。
英文摘要
A widely used tool in nano-scale characterization is the Atomic Force Microscope (AFM), with popular applications in large semiconductor companies such as IBM, Intel, AMD and Seagate for the quality assurance of their chips and small electronics. It is also widely used in a variety of research fields and emerging technologies. The most important part of the AFM is the probe or tip which "feels" the sample surface and creates a three-dimensional image of the specimen surface. In order to obtain high quality faithful images, very high aspect ratio tips are required; that is, the tip apex has to be thin and long. But these high aspect ratio tips are extremely difficult to make and consequently very expensive ($70-$500 per tip) and only bought sparingly.
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会议论文
Microneedle fabrication and applications
  • 批准号：
    RGPIN-2021-02984
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.84万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Cui, Bo
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Microneedle fabrication and applications
  • 批准号：
    RGPIN-2021-02984
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.84万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Cui, Bo
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Fabrication of terahertz antenna for THz spectroscopy applications
  • 批准号：
    536473-2018
  • 项目类别：
    Collaborative Research and Development Grants
  • 资助金额：
    $3.64万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Cui, Bo
  • 依托单位：
    University of Waterloo
Fabrication of high aspect ratio AFM probes with diamond apex
  • 批准号：
    543529-2019
  • 项目类别：
    Collaborative Research and Development Grants
  • 资助金额：
    $8.34万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Cui, Bo
  • 依托单位：
    University of Waterloo
国内基金
海外基金
COST1通过P小体调控植物渗透胁迫响应的机制研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    许亢
  • 依托单位：
    上海交通大学
COST1蛋白动态在调控自噬及植物抗旱中的机制研究
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    58万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    包岩
  • 依托单位：
    上海交通大学
电渣重熔625℃超超临界汽轮机转子用钢COST-FB2冶金学基础研究
  • 批准号：
    51974076
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    60.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    耿鑫
  • 依托单位：
    东北大学