Fabrication of microstructures on the surface of a micro/hollow target ball by AFM
Fabrication of microstructures on the surface of a micro/hollow target ball by AFM
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利用 AFM 在微/空心靶球表面制造微结构
DOI：
10.1088/0960-1317/18/3/035002
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发表时间：
2008-01
影响因子：
2.3
通讯作者：
Yan, Y. D.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Dong, S.;Sun, T.;Zhao, X. S.;Hu, Z. J.;Yan, Y. D.
采用AFM机械刻划技术，在直径为0.1-0.5 mm的微薄壁和壁厚为0.8-1.2 μm的中空玻璃靶B表面制备了深度为几纳米的微结构
An AFM-based mechanical scratching technique is employed to fabricate microstructures with a depth of several nanometers on the surface of a micro (the diameter is 0.1–0.5 mm) thin wall and a hollow (the thickness of the wall is 0.8–1.2 µm) glass target b
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DOI：
--
发表时间：
2003-02
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
Y. Ichida;Y. Morimoto;M. Murakami;R. Sato
通讯作者：
Y. Ichida;Y. Morimoto;M. Murakami;R. Sato
影响因子：
3.5
作者：
Notargiacomo, A;Foglietti, V;Nicolini, C
通讯作者：
Nicolini, C
DOI：
10.1007/s00542-002-0193-7
发表时间：
2002-09
期刊：
Microsystem Technologies
影响因子：
--
作者：
Jin-Eui Lee;I. Sung;Dae-Eun Kim
通讯作者：
Jin-Eui Lee;I. Sung;Dae-Eun Kim
影响因子：
5
作者：
Zhaoguo Jiang;Chung-Jen Lu;D. Bogy;T. Miyamoto
通讯作者：
Zhaoguo Jiang;Chung-Jen Lu;D. Bogy;T. Miyamoto
影响因子：
3.5
作者：
Chen, YJ;Hsu, JH;Lin, HN
通讯作者：
Lin, HN