SAGA-LS におけるレーザープトン散乱ガンマ線の発生
SAGA-LS におけるレーザープトン散乱ガンマ線の発生
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SAGA-LS 中激光散射伽马射线的产生
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金安達夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kaneyasu;Y. Takabayashi;Y. Iwasaki;S. Koda;金安達夫
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大直径硅片晶体完美度和表面污染的 X 射线表征
DOI：
10.1016/s1369-8001(02)00130-0
发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
作者：
S. Kawado
通讯作者：
S. Kawado
使用 X 射线光刻技术制造高深宽比 X 射线光栅
DOI：
10.1299/jmmp.3.416
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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作者：
D. Noda;H. Tsujii;K. Shimada;W. Yashiro;A. Momose;T. Hattori
通讯作者：
T. Hattori
用于宽能量范围同步辐射的 LIGA 工艺的大面积 X 射线光刻系统
影响因子：
1.5
作者：
Y. Utsumi;T. Kishimoto;T. Hattori;H. Hara
通讯作者：
H. Hara
NewSUBARU 的光束线 BL11 中建立了深度 X 射线光刻系统，具有均匀且高精度的制造区域。
影响因子：
2.5
作者：
M. Takeuchi;A. Yamaguchi;Y. Utsumi
通讯作者：
Y. Utsumi
Si 222 禁反射双晶摇摆曲线
DOI：
10.1107/s0108767389003879
发表时间：
1989
期刊：
影响因子：
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作者：
I. R. Éntin;I. Smirnova
通讯作者：
I. Smirnova