Control of nitrogen depth profile in ultrathin oxynitride films formed by pulse-time-modulated nitrogen beams
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脉冲时间调制氮束形成的超薄氮氧化物薄膜中氮深度分布的控制
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
遠藤和彦;寒川誠二;Kazuhiko Endo;Seiji Samukawa;寒川 誠二;寒川 誠二;大竹浩人;久保田智広;石川健治;野田周一;Hiroto Ohtake;Tomohiro Kubota;Kenji Ishikawa;Shuichi Noda;寒川 誠二;寒川 誠二;寒川誠二;寒川誠二;寒川誠二
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