Effect of Acid Diffusion and Polymer Structure on Line Edge Roughness
Effect of Acid Diffusion and Polymer Structure on Line Edge Roughness
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酸扩散和聚合物结构对线边缘粗糙度的影响
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and H. Komano,
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Yamamoto;T. Kozawa;A. Saeki;K. Okamoto;S. Tagawa;K. Ohmori;M. Sato;and H. Komano,
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