Measurement of Strain in Freestanding Si/SixNy Membrane by Convergent Beam Electron Diffraction and Finite Element Method
Measurement of Strain in Freestanding Si/SixNy Membrane by Convergent Beam Electron Diffraction and Finite Element Method
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用会聚束电子衍射和有限元法测量独立式 Si/SixNy 膜的应变
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H.Nakashima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Gao;K.Ikeda;S.Hata;H.Nakashima;D.Wang;H.Nakashima
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