Fabrication of Ferroelectric Pb(Zr,Ti)O_3 Thin Films by Spray Metalorganic Chemical Vapor Deposition
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喷雾金属有机化学气相沉积法制备铁电Pb(Zr,Ti)O_3薄膜
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yohei Otani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Matsudaira;H.;Umezawa;H.;Kawarada;Yohei Otani
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使用传统多源和新型混合源通过液体输送 MOCVD 制备 PZT 薄膜
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通讯作者：
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