Silicon slot fin waveguide on bonded double-SOI for a low-power accumulation modulator fabricated by an anisotropic wet etching technique.

Silicon slot fin waveguide on bonded double-SOI for a low-power accumulation modulator fabricated by an anisotropic wet etching technique.
复制标题

用于通过各向异性湿法蚀刻技术制造的低功率累积调制器的键合双 SOI 上的硅槽鳍波导。

DOI:
10.1364/oe.26.033180
复制
发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
3.8
通讯作者:
Byers J
Byers J
中科院分区:
物理与天体物理2区
文献类型:
--
作者:
Byers J

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

双层 SOI 平台上的高 Q 谐振器
DOI: 10.1109/ipcon.2013.6656621
发表时间: 2013
期刊: 2013 IEEE Photonics Conference
影响因子: --
作者:
H. Moradinejad;A. Atabaki;Amir H. Hosseinia;A. Eftekhar;A. Adibi
通讯作者: A. Adibi
采用各向异性湿法刻蚀降低粗糙度的低损耗硅矩形波导
DOI: 10.1109/group4.2015.7305962
发表时间: 2015
期刊: --
影响因子: --
作者:
Arimoto H
通讯作者: Arimoto H
具有10nm宽氧化物槽的硅槽波导的制造
DOI: 10.1109/group4.2017.8082184
发表时间: 2017
期刊: 2017 IEEE 14th International Conference on Group IV Photonics (GFP)
影响因子: --
作者:
K. Debnath;A. Khokhar;G. Reed;S. Saito
通讯作者: S. Saito
晶圆键合单晶硅槽波导和环形谐振器
DOI: 10.1063/1.3070541
发表时间: 2009
影响因子: 4
作者:
R. Briggs;M. Shearn;A. Scherer;H. Atwater
通讯作者: H. Atwater
DOI: 10.1364/oe.20.002911
发表时间: 2012-01-30
期刊: OPTICS EXPRESS
影响因子: 3.8
作者:
Akiyama, Suguru;Baba, Takeshi;Usuki, Tatsuya
通讯作者: Usuki, Tatsuya