Room temperature GaN-GaAs direct bonding by argon-beam surfaceactivation

Room temperature GaN-GaAs direct bonding by argon-beam surfaceactivation
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通过氩束表面活化进行室温 GaN-GaAs 直接键合

DOI:
--
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发表时间:
2007
期刊:
Proceedings of SPIE Vol. 6717
影响因子:
--
通讯作者:
Tadatomo Suga
Tadatomo Suga
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
Eiji Higurashi;Yuichiro Tokuda;Masatake Akaike;Tadatomo Suga

文献摘要

参考文献

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