Large-area plasma excitation in densely arrayed radial line slot antennas using TB_<11> rotating mode
Large-area plasma excitation in densely arrayed radial line slot antennas using TB_<11> rotating mode
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使用 TB_<11> 旋转模式在密集阵列径向线缝隙天线中进行大面积等离子体激发
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Ishii
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Yamamoto;N.Ishii
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使用微波放电产生毫托范围内的大直径均匀等离子体
影响因子：
1.5
作者：
Y. Yasaka;D. Nozaki;K. Koga;M. Ando;Tetsuya Yamamoto;N. Goto;N. Ishii;T. Morimoto
通讯作者：
T. Morimoto
用于表面波耦合等离子体产生的径向线缝隙天线的近场分布
影响因子：
1.5
作者：
Tetsuya Yamamoto;M. Ono;M. Ando;N. Goto;N. Ishii;Y. Yasaka
通讯作者：
Y. Yasaka
利用多槽平面天线生产大直径等离子体
DOI：
10.1088/0963-0252/8/4/302
发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
--
作者：
Y. Yasaka;D. Nozaki;K. Koga;M. Ando;Tetsuya Yamamoto;N. Goto;N. Ishii;T. Morimoto
通讯作者：
T. Morimoto
用于大面积均匀等离子体生成的 8.3 GHz 径向线缝隙天线设计
影响因子：
1.5
作者：
Tetsuya Yamamoto;Nguyen Thang Chien;M. Ando;N. Goto;M. Hirayama;T. Ohmi
通讯作者：
T. Ohmi
一种将等离子体激发区与刻蚀工艺区分开的新型微波激发等离子体刻蚀设备
影响因子：
1.5
作者：
T. Goto;M. Hirayama;H. Yamauchi;M. Moriguchi;S. Sugawa;T. Ohmi
通讯作者：
T. Ohmi