High quality diamond formation by electron temperature control in methane-hydrogen plasma

High quality diamond formation by electron temperature control in methane-hydrogen plasma
复制标题

通过甲烷-氢等离子体中的电子温度控制形成高质量金刚石

DOI:
--
复制
发表时间:
2003
期刊:
Plasma Sources Science and Technology 12
影响因子:
--
通讯作者:
Shimizu
Shimizu
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Tetsuji;Shimizu

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

等离子体电势、电子温度和等离子体密度的机械变化
DOI: 10.1088/0963-0252/1/2/003
发表时间: 1992
影响因子: 3.8
作者:
N. Hershkowitz;M. Cho;J. Pruski
通讯作者: J. Pruski
通过安装在用于放电等离子体的空心阴极中的可移动销钉来控制电子温度
DOI: 10.1063/1.108913
发表时间: 1993
影响因子: 4
作者:
N. Sato;S. Iizuka;T. Koizumi;T. Takada
通讯作者: T. Takada
射频等离子体中电子温度控制产生的负氢离子
DOI: 10.1143/jjap.36.4551
发表时间: 1997
影响因子: 1.5
作者:
S. Iizuka;K. Kato;A. Takahashi;K. Nakagomi;N. Sato
通讯作者: N. Sato
通过负偏压栅极的等离子体的电子温度控制
DOI: 10.1063/1.112240
发表时间: 1994
影响因子: 4
作者:
K. Kato;S. Iizuka;N. Sato
通讯作者: N. Sato
DOI: 10.1063/1.110714
发表时间: 1993-09
影响因子: 4
作者:
S. Iizuka;T. Koizumi;T. Takada;N. Sato
通讯作者: S. Iizuka;T. Koizumi;T. Takada;N. Sato