The role of carbon and C-H neutralization in MOCVD β-Ga2O3 using TMGa as precursor

The role of carbon and C-H neutralization in MOCVD β-Ga2O3 using TMGa as precursor
复制标题

使用 TMGa 作为前体的 MOCVD β-Ga2O3 中碳和 C-H 中和的作用

DOI:
10.1063/5.0153626
复制
发表时间:
2023
影响因子:
4
通讯作者:
Zhao, Hongping
Zhao, Hongping
中科院分区:
物理与天体物理2区
文献类型:
--
作者:
Meng, Lingyu;Bhuiyan, A F;Zhao, Hongping

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

等离子体辅助分子束外延生长(010)β-Ga2O3薄膜的Sn掺杂
DOI: --
发表时间: 2020
期刊:
影响因子: --
作者:
Akhil Mauze;Yuewei Zhang;T. Itoh;E. Ahmadi;J. Speck
通讯作者: J. Speck
β-(AlxGa1-x)2O3/β-Ga2O3 异质结界面载流子限制的观察
DOI: --
发表时间: 2017
期刊:
影响因子: --
作者:
Takayoshi Oshima;Yuji Kato;Naoto Kawano; Akito Kuramata;Shigenobu Yamakoshi; Shizuo Fujita; Toshiyuki Oishi;and Makoto Kasu;Takayoshi Oshima;橋口明広,森林朋也,大島孝仁,大石敏之,輿公祥,佐々木公平,倉又朗人,上田修,嘉数誠;森林朋也,橋口明広,大島孝仁,花田賢志,大石敏之,輿公祥,佐々木公平,倉又朗人,上田修,嘉数誠;加藤勇次,大島孝仁,織田真也,人羅俊実,嘉数誠;加藤勇次,大島孝仁,河野直士,倉又朗人,山腰茂伸,藤田静雄,大石敏之,嘉数誠
通讯作者: 加藤勇次,大島孝仁,河野直士,倉又朗人,山腰茂伸,藤田静雄,大石敏之,嘉数誠
通过 MOVPE 快速同质外延生长 (100) β-Ga2O3 薄膜
DOI: --
发表时间: 2021
期刊: AIP Advances
影响因子: 1.6
作者:
Ta;Palvan Seyidov;S. Bin Anooz;R. Grüneberg;Thi Thuy Vi Tran;K. Irmscher;M. Albrecht;Z. Galazka;J. Schwarzkopf;A. Popp
通讯作者: A. Popp
DOI: 10.1063/1.5055680
发表时间: 2019-02-01
期刊: APL MATERIALS
影响因子: 6.1
作者:
Leach, J. H.;Udwary, K.;Evans, K. R.
通讯作者: Evans, K. R.
探测 MOCVD 生长 (010) ${eta}$-Ga$_{2}$O$_{3}$ 中的电荷传输和背景掺杂
DOI: --
发表时间: 2020
期刊:
影响因子: --
作者:
Zixuan Feng;A. Bhuiyan;Zhanbo Xia;Wyatt Moore;Zhaoying Chen;Joe F. Mcglone;D. Daughton;A. Arehart;S. Ringel;S. Rajan;Hongping Zhao
通讯作者: Hongping Zhao