Fabrication of optimized 3D microstructures with undercuts in fused silica for replication
Fabrication of optimized 3D microstructures with undercuts in fused silica for replication
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在熔融石英中制造带有底切的优化 3D 微结构以进行复制
DOI：
10.1016/j.mee.2012.07.055
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发表时间：
2012
影响因子：
2.3
通讯作者：
H.-C. Scheer
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Zimmer;J. Zajadacz;R. Fechner;K. Dhima;H.-C. Scheer
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通讯作者：
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