Determination of the Bimetallic Layers’ Film Thicknesses by Phase Detection of SPR Prism Coupler
Determination of the Bimetallic Layers’ Film Thicknesses by Phase Detection of SPR Prism Coupler
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通过 SPR 棱镜耦合器相位检测确定双金属层薄膜厚度
DOI：
10.1007/s11468-016-0376-1
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发表时间：
2017-08
期刊：
影响因子：
3
通讯作者：
Xian Xie
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Chao Liu;Qinggang Liu;Zirui Qin;Xian Xie
本文提出了一种利用表面等离子体共振棱镜耦合器相位检测薄膜厚度的方法。通过对不同入射角下相位差的理论曲线与实验结果的拟合，提出并发展了该方法。用该方法得到的两种金属薄膜厚度的测量结果与原子力显微镜（AFM）和椭圆偏振光谱仪（SE）的测量结果吻合较好。理论分析和实验结果均表明，该方法稳定可靠，可用于直接测定纳米级薄膜厚度。
In this paper, the phase detection method is demonstrated to determine the film thicknesses of bimetallic layers by surface plasmon resonance (SPR) prism coupler. It was proposed and developed by matching the experimental results to the theoretical curves of the phase difference with different angles of incidence. The results of both of the two metallic film thicknesses obtained by our method coincide well with the measurement results of atomic force microscope (AFM) and spectroscopic ellipsometer (SE) measurement. Both theoretical analysis and experimental results indicate that the method proposed is stable and reliable, and feasible to be used to determine the film thickness of bimetallic layers directly with nanometer order resolution.
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影响因子：
3.8
作者：
Chao Liu;Qinggang Liu;Xiaotang Hu
通讯作者：
Chao Liu;Qinggang Liu;Xiaotang Hu
影响因子：
1.2
作者：
Gwon, Hyuk Rok;Lee, Seong Hyuk
通讯作者：
Lee, Seong Hyuk
DOI：
10.4028/www.scientific.net/amr.320.377
发表时间：
2011-08
期刊：
Advanced Materials Research
影响因子：
--
作者：
Jindong Xin;Qinggang Liu;Chao Liu;T. Li;Shiyu Liu
通讯作者：
Jindong Xin;Qinggang Liu;Chao Liu;T. Li;Shiyu Liu
影响因子：
6.1
作者：
Bolduc, Olivier R.;Live, Ludovic S.;Masson, Jean-Francois
通讯作者：
Masson, Jean-Francois
影响因子：
2.4
作者：
Kabashin, AV;Nikitin, PI
通讯作者：
Nikitin, PI