Fabrication of SiGe bulk crystals with uniform composition as substrates for Si-based heterostructures

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制备具有均匀成分的 SiGe 块状晶体作为硅基异质结构的衬底

DOI:
--
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发表时间:
2002
期刊:
Mat. Sci. Eng. B 89
影响因子:
--
通讯作者:
K.Fujiwara et al.
K.Fujiwara et al.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
N.Usami;Y.Azuma;T.Ujihara;G.Sazaki;K.Fujiwara et al.

文献摘要

参考文献

被引文献

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