Structural analysis of TaWN ternary alloy film applicable to Cu orientation control
Structural analysis of TaWN ternary alloy film applicable to Cu orientation control
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适用于Cu取向控制的TaWN三元合金薄膜的结构分析
DOI：
10.35848/1347-4065/abebbd
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and M. Sato
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. B. Takeyama;M. Yasuda;and M. Sato
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用于晶粒取向控制的互连金属/势垒金属界面处的界面能量计算
DOI：
10.1063/1.358773
发表时间：
1995
期刊：
影响因子：
--
作者：
Y. Nakasaki;G. Minamihaba;K. Suguro;Hitoshi Itow
通讯作者：
Hitoshi Itow
在 SiO2 上的薄 Nb 阻挡层上形成优先取向的 Cu[111] 层
DOI：
10.1143/jjap.45.9172
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
作者：
M. Maniruzzaman;M. Takeyama;Masaru Sato;Y. Hayasaka;E. Aoyagi;A. Noya
通讯作者：
A. Noya
DOI：
10.1143/jjap.43.l1565
发表时间：
2004-12-15
期刊：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS
影响因子：
--
作者：
Maniruzzaman, M;Takeyama, MB;Noya, A
通讯作者：
Noya, A
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DOI：
--
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
作者：
Hoon Kim;Y. Kojima;H. Sato;N. Yoshii;S. Hosaka;Y. Shimogaki
通讯作者：
Y. Shimogaki
〈111〉取向Cu薄膜与薄Ta-W-N势垒的关系
影响因子：
1.5
作者：
M. Takeyama;Masaru Sato;M. Yasuda
通讯作者：
M. Yasuda