Nano-fabrication using electron-beam-induced deposition combined with low energy ion milling

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使用电子束诱导沉积与低能离子铣削相结合的纳米制造

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS B 242
影响因子:
--
通讯作者:
古屋一夫
古屋一夫
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
三石和貴;下条雅幸;田中美代子;古屋一夫

文献摘要

参考文献

被引文献

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