Sheet resistance and crystallinity of Ga and Al implanted zinc oxide (ZnO) thin films with postannealing

Sheet resistance and crystallinity of Ga and Al implanted zinc oxide (ZnO) thin films with postannealing
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后退火后 Ga 和 Al 注入氧化锌 (ZnO) 薄膜的薄层电阻和结晶度

DOI:
--
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发表时间:
2007
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology A 25
影响因子:
--
通讯作者:
T. Hirao
T. Hirao
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T.Matsuda;M. Furuta;T.Hiramatsu;H. Furuta;T. Hirao

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参考文献

被引文献

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