Crystallographic orientation dependence of compositional transition and valence band offset at SiO_2/Si interface formed using oxygen radicals

Crystallographic orientation dependence of compositional transition and valence band offset at SiO_2/Si interface formed using oxygen radicals
复制标题

氧自由基形成的 SiO_2/Si 界面的成分跃迁和价带偏移的晶体取向依赖性

DOI:
--
复制
发表时间:
2010
期刊:
Applied Physics Letters Vol. 96, No. 10
影响因子:
--
通讯作者:
T. Hattori
T. Hattori
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T. Suwa;A. Teramoto;Y. Kumagai;K. Abe;X. Li;Y. Nakao;M. Yamamoto;Y. Kato;T. Muro;T. Kinoshita;T. Ohmi;T. Hattori

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

使用活性氧在低温下形成超薄 SiO2 的初始阶段
DOI: 10.1016/s0169-4332(97)80064-5
发表时间: 1997
影响因子: 6.7
作者:
T. Fuyuki;Seishi Muranaka;H. Matsunami
通讯作者: H. Matsunami
DOI: 10.1063/1.125798
发表时间: 2000
影响因子: 4
作者:
A. Kurokawa;Ken Nakamura;S. Ichimura;D. Moon
通讯作者: D. Moon
稀有气体稀释下的低温表面波等离子体氧化
DOI: 10.1143/jjap.42.7033
发表时间: 2003
影响因子: 1.5
作者:
M. Goto;K. Azuma;T. Okamoto;Y. Nakata
通讯作者: Y. Nakata
使用高分辨率卢瑟福背散射光谱/通道研究 SiO2/Si(001) 界面处的晶格畸变
DOI: 10.1143/jjap.45.2467
发表时间: 2006
影响因子: 1.5
作者:
K. Nakajima;Motofumi Suzuki;K. Kimura;Masashi Yamamoto;A. Teramoto;T. Ohmi;T. Hattori
通讯作者: T. Hattori
DOI: 10.1116/1.587790
发表时间: 1994
影响因子: 1.4
作者:
Yamamoto Kenichi;M. Hasegawa
通讯作者: M. Hasegawa