Fabrication of a MEMS capacitive accelerometer with symmetrical double-sided serpentine beam-mass structure
Fabrication of a MEMS capacitive accelerometer with symmetrical double-sided serpentine beam-mass structure
复制标题
对称双面蛇形梁质量结构MEMS电容式加速度计的制作
DOI：
10.1007/s00542-013-1911-z
复制
发表时间：
2014-07
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Wang, Yuelin
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Lin, Youling;Li, Xiaolin;Wu, Jian;Wang, Yuelin
摘要：本文提出了一种对称双面蛇形梁质量结构设计，具有方便、精确的MEMS加速度计制造工艺。对称的双面蛇形梁质量结构由单块材料制成
AbstractThis paper presents a symmetrical double-sided serpentine beam-mass structure design with a convenient and precise process of manufacturing MEMS accelerometers. The symmetrical double-sided serpentine beam-mass structure is fabricated from a sing
登录
查看更多内容
DOI：
10.1007/978-3-642-18293-8
发表时间：
2012
期刊：
Microsystems and Nanotechnology
影响因子：
--
作者：
Zhaoying Zhou;Z. Wang;Liwei Lin
通讯作者：
Zhaoying Zhou;Z. Wang;Liwei Lin
影响因子：
2.3
作者：
E. Peeters;S. Vergote;B. Puers;W. Sansen
通讯作者：
E. Peeters;S. Vergote;B. Puers;W. Sansen
DOI：
10.1088/0960-1317/19/7/075006
发表时间：
2009-07-01
影响因子：
2.3
作者：
Hsu, Chia-Pao;Yip, Ming-Chuen;Fang, Weileun
通讯作者：
Fang, Weileun
DOI：
10.1007/978-3-642-23096-7_14
发表时间：
2011
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
J. Marek;U. Gomez
通讯作者：
J. Marek;U. Gomez
一种由 D-SOI 晶圆制成的具有对称结构的新型夹层电容式加速度计
影响因子：
2.3
作者：
Zhou Xiaofeng;Che Lufeng;Wu Jian;Li Xiaolin;Wang Yuelin
通讯作者：
Wang Yuelin