Electric Characteristics of MOS capacitors with Si-implanted SiO_2
Electric Characteristics of MOS capacitors with Si-implanted SiO_2
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Si注入SiO_2 MOS电容器的电特性
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Matsuda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉岡芳夫;所山太二;T.Matsuda
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DOI：
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发表时间：
1993
期刊：
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影响因子：
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作者：
S. Minami;Y. Kamigaki
通讯作者：
Y. Kamigaki
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作者：
T. Ohzone;A. Michii;T. Hori
通讯作者：
T. Hori
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K. Yoneda;K. Hagiwara;Y. Todokoro
通讯作者：
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作者：
T. Ohzone;T. Hori
通讯作者：
T. Hori
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作者：
KALNITSKY, A;BOOTHROYD, AR;ELLUL, JP
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