Preferential Sputtering Observed in Auger Electron Spectroscopy Sputter Depth Profiling of AlAs/GaAs Suppterlattice Using Low-Energy Ions
Preferential Sputtering Observed in Auger Electron Spectroscopy Sputter Depth Profiling of AlAs/GaAs Suppterlattice Using Low-Energy Ions
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使用低能离子对 AlAs/GaAs 超晶格进行俄歇电子能谱溅射深度分析时观察到的择优溅射
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Takai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Mizuhara;T.Bungo;T.Nagatomi;Y.Takai
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