Investigations on the positioning accuracy of the Nano Fabrication Machine (NFM-100)
Investigations on the positioning accuracy of the Nano Fabrication Machine (NFM-100)
复制标题
纳米加工机（NFM-100）定位精度研究
DOI：
10.1515/teme-2021-0079
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发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Eberhard Manske
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Jaqueline Stauffenberg;Ingo Ortlepp;Ulrike Blumröder;Denis Dontsov;Christoph Schäffel;Mathias Holz;Ivo W. Rangelow;Eberhard Manske
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影响因子：
2.4
作者：
S. Hesse;C. Schäffel;H. Mohr;M. Katzschmann;H. J. Büchner
通讯作者：
S. Hesse;C. Schäffel;H. Mohr;M. Katzschmann;H. J. Büchner
影响因子：
6.2
作者：
J. Stauffenberg;C. Reuter;I. Ortlepp;M. Holz;D. Dontsov;C. Schäffel;Jens-Peter Zöllner;I. Rangelow;S. Strehle;E. Manske
通讯作者：
J. Stauffenberg;C. Reuter;I. Ortlepp;M. Holz;D. Dontsov;C. Schäffel;Jens-Peter Zöllner;I. Rangelow;S. Strehle;E. Manske
单位数纳米器件的图案生成和图案转移
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
I. Rangelow;Ahmad Ahmad;T. Ivanov;M. Kaestner;Y. Krivoshapkina;T. Angelov;S. Lenk;C. Lenk;V. Ishchuk;M. Hofmann;D. Nechepurenko;I. Atanasov;B. Volland;E. Guliyev;Z. Durrani;Mervyn E. Jones;Chen Wang;Dixi Liu;A. Reum;M. Holz;N. Nikolov;W. Majstrzyk;T. Gotszalk;D. Staaks;Stefano Dallorto;D. Olynick
通讯作者：
D. Olynick
集成平面六自由度纳米定位系统
影响因子：
--
作者：
S. Gorges;S. Hesse;C. Schäffel;I. Ortlepp;E. Manske;E. Langlotz;D. Dontsov
通讯作者：
D. Dontsov
用于单位数纳米尺寸器件的具有自驱动和自感应悬臂的场发射扫描探针光刻
影响因子：
2.3
作者：
I. Rangelow;C. Lenk;M. Hofmann;S. Lenk;T. Ivanov;Ahmad Ahmad;M. Kaestner;E. Guliyev;C. Reuter;M. Budden;Jens;M. Holz;A. Reum;Z. Durrani;Mervyn E. Jones;Cemal Aydogan;Mahmut Biçer;B. E. Alaca;M. Kuehnel;T. Fröhlich;Roland Fuessl;E. Manske
通讯作者：
E. Manske