Strain relaxation process and evolution of crystalline morphologies during the growths of SiGe on Si(110) by solid-source molecular beam epitaxy

Strain relaxation process and evolution of crystalline morphologies during the growths of SiGe on Si(110) by solid-source molecular beam epitaxy
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固源分子束外延在Si(110)上生长SiGe过程中的应变弛豫过程和晶体形貌演化

DOI:
--
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发表时间:
2020
影响因子:
4.1
通讯作者:
Keisuke Arimoto
Keisuke Arimoto
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
Shingo Saito;Yuichi Sano;Takane Yamada;Kosuke O. Hara;Junji Yamanaka;Kiyokazu Nakagawa;Keisuke Arimoto

文献摘要

参考文献

被引文献

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