Strain relaxation mechanisms in compositionally uniform and step-graded SiGe films grown on Si(110) substrates

Strain relaxation mechanisms in compositionally uniform and step-graded SiGe films grown on Si(110) substrates
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Si(110) 衬底上生长的成分均匀且分级的 SiGe 薄膜的应变弛豫机制

DOI:
--
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发表时间:
2009
期刊:
Solid-State Electronics 53
影响因子:
--
通讯作者:
Kazuo Nakajima
Kazuo Nakajima
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Keisuke Arimoto;Masato Watanabe;Junji Yamanaka;Kiyokazu Nakagawa;Kentarou Sawano;Yasuhiro Shiraki;Noritaka Usami;Kazuo Nakajima

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参考文献

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