Plane Wave Synchrotron X-ray Topography Observation of Grown-in Microdefects in Slowly Pulled CZ Silicon Crysttals
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慢拉直拉硅晶内生长微缺陷的平面波同步辐射X射线形貌观察
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
近浦吉則
中科院分区：
文献类型：
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作者：
飯田敏;川戸清爾;前濱剛廣;梶原堅太郎;木村滋;松井純爾;鈴木芳文;近浦吉則
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