Single-electron transistors featuring silicon nitride tunnel barriers prepared by atomic layer deposition

Single-electron transistors featuring silicon nitride tunnel barriers prepared by atomic layer deposition
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采用原子层沉积制备的氮化硅隧道势垒单电子晶体管

DOI:
10.1109/ulis.2016.7440045
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发表时间:
2016
期刊:
Single-electron transistors featuring silicon nitride tunnel barriers prepared by atomic layer deposition
影响因子:
--
通讯作者:
Snider, Gregory L.
Snider, Gregory L.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Karbasian, Golnaz;Orlov, Alexei O.;Mukasyan, Alexander S.;Snider, Gregory L.

文献摘要

参考文献

被引文献

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